Mesa de coordenadas de alta precisão HT160 series

verticalmotorizadacompatível com vácuo

- Vácuo: todas as gamas HV / UHV / EUV até 10E-11 mbar - Líquido de lubrificação até 10E-8 / secar até 10E-11 mbar - Máx. Temperatura de cozedura: 120°C - Disponível como versão magnética - Sala limpa classe 4 de acordo com a ISO 14644-1 Opcionalmente configurável: - Selecção do material e lubrificação a vácuo adaptada à aplicação - Adaptação individual à situação de instalação na câmara - Versão para sala limpa ISO 14644-1 (até à classe 1 a pedido) - Opcional com controlador FMC400/450 Etapa de elevação precisa para cargas elevadas A fase de elevação é adequada para movimentos verticais de alta precisão em condições extremas, tais como em alto vácuo, vácuo ultra-alto. Devido ao seu princípio de elevação, atinge os seus parâmetros apesar da sua baixa altura total. A combinação de moto-redutores e um fuso de esferas preciso, parafuso de chumbo opcional, permite tamanhos de degraus mais pequenos com cargas comparativamente elevadas. Áreas de aplicação Posicionamento de precisão na indústria e investigação em vácuo ultra-alto e sob radiação ultravioleta extrema, alinhamento de wafers, alinhamento de câmaras, investigação de materiais, análise de materiais, microscopia em vácuo, linha de feixe, acelerador, sincrotrão