Nanoposicionador compatível com vácuo LA97 series

linearpiezoelétricode 1 eixo

LA97 - Estágios e eixos lineares de vácuo Nanómetro estágio linear HV / UHV até 10E-11, curso 100 - 300 mm, repetibilidade 0,02 µm, carga até 10 kg - Vácuo: todas as áreas HV / UHV até 10E-11 mbar - Lubrificação: líquido até 10E-8 mbar / seco até 10E-11 mbar - Máx. Temperatura de cozedura: 120°C Opcionalmente configurável: - Versões magnéticas, de baixa magnética e sem ímanes disponíveis - Selecção do material e lubrificação a vácuo adaptada à aplicação - Adaptação individual à situação de instalação na câmara - Versão para sala limpa ISO 14644-1 (até à classe 1 a pedido) - Opcional com controlador FMC400/450 Posicionamento horizontal e vertical do nanómetro Este eixo linear de vácuo é adequado para todas as gamas HV / UHV até 10-11mbar. É universalmente aplicável, uma vez que também pode ser utilizado para tarefas de posicionamento vertical. Atinge resoluções extremamente elevadas e a maior rigidez no vácuo. Dependendo da carga a mover, 2 até 6 motores podem ser utilizados na disposição pinça. Campos de aplicação Aplicações de digitalização de alta precisão, micro montagem, tecnologia de semicondutores em vácuo ultra-alto e sob radiação ultravioleta, câmaras de vácuo, investigação, instrumentação de linha de feixe, montagem e inspecção electrónica