Mesa de coordenadas linear LA80 series

motorizadade 1 eixocom fuso de esferas

Estágio linear de alta velocidade HV / UHV / EUV, curso 200 -500 mm, repetibilidade 0,4 µm, carga de 5 kg - Vácuo: todas as gamas HV / UHV / EUV até 10E-11 mbar - Líquido de lubrificação até 10E-8 / secar até 10E-11 mbar - Tempo de vida na faixa dos quilómetros apesar da lubrificação a seco - Máx. Temperatura de cozedura: 120°C - Disponível como versão magnética Opcionalmente configurável: - Opcionalmente com e sem sistema de medição - Selecção do material e lubrificação a vácuo adaptada à aplicação - Pode ser combinado com um sistema rápido de transferência XYZ (por exemplo, LA90, LA95, LA170) - Adaptação individual à situação de instalação na câmara - Versões para sala limpa ISO 14644-1 (até à classe 1 a pedido) - Opcional com Controlador FMC400/450 Longa duração apesar de funcionamento a seco Este eixo linear é utilizado como um componente poderoso para sistemas multi-eixos e para sistemas de transferência altamente dinâmicos. Permite um posicionamento rápido com resolução extremamente alta em vácuo ultra-alto, mesmo no sentido vertical. Um fuso de esferas assegura uma elevada rigidez e estabilidade de paragem a alta velocidade. O sistema não requer lubrificantes líquidos e ainda oferece uma vida útil na gama de muitos quilómetros. Campos de aplicação Sistemas de transferência de alta precisão em vácuo ultra-alto sob radiação ultravioleta extrema, fabrico de semicondutores, formação de feixes para processos de exposição, análise de superfície e posicionamento de sensores, espectrometria de massa, processos de revestimento OLED, medição da espessura e da taxa de camadas, revestimento de superfície (pulverização catódica, deposição de vapor), saídas de feixes, configurações experimentais, matrizes de sensores para investigações de amostras próximas do seu estado nativo