Gerador de plasma programável TruPlasma MW Series 1000 /3000 / 5000

de alta frequênciapor radiofrequênciacontrolado por computador

Visão geral
Gerador de plasma micro‑ondas em estado sólido, robusto, projetado para alcançar elevadas densidades de plasma e atender a processos industriais exigentes. A família TruPlasma MW utiliza tecnologia solid‑state que proporciona maior precisão de frequência em comparação com sistemas baseados em magnetron. A plataforma modular permite escalabilidade precisa da potência mantendo fornecimento estável e qualidade de processo consistente.

Principais características

• Tecnologia micro‑ondas em estado sólido com alta precisão de frequência
• Conceito de plataforma modular para escalonamento preciso da potência de saída
• Ajuste automático de frequência (auto frequency tuning) para adaptação automática e alta reprodutibilidade
• Fase síncrona: múltiplos geradores podem operar em fase e ser pulsados em sistemas multi‑antena para melhorar a homogeneidade do plasma
• Design robusto garantindo operação confiável mesmo em caso de desajuste
• Modulação digital de frequência de alta precisão para controlo de processo reproduzível
• Comunicação em tempo real via EtherCAT para controlo em milissegundos e distribuição precisa do plasma

Aplicações

• Fabricação de células fotovoltaicas: sputtering, PECVD e outros processos de deposição/ablação
• Fabricação de semicondutores: etching a seco e processos plasma avançados
• Revestimento de painéis e displays: PECVD, ALD, RIE e processos relacionados

Vantagens para processos

• Máximas densidades de plasma para aplicações de elevada exigência
• Dosagem precisa de energia e regulação fina de potência para elevada repetibilidade wafer‑to‑wafer
• Fornecimento de potência estável que preserva a qualidade do processo em condições variáveis
• Melhoria da homogeneidade do plasma ao ajustar a coerência de fase entre geradores

Características técnicas / especificações

• Família de produtos: TruPlasma MW Série 1000 / 3000 / 5000
• Exemplo de modelo nesta página: TruPlasma MW 3002
• Tecnologia: gerador de plasma micro‑ondas em estado sólido
• Controlo de frequência: modulação digital de frequência de alta precisão
• Ajuste automático de frequência: adaptação automática para otimizar resultados
• Operação multi‑gerador: sincronização de fase para sistemas multi‑antena
• Interface: EtherCAT digital para comunicação em tempo real
• Design: plataforma modular para potência escalável e alta fiabilidade
• Indústrias alvo: fabricação de semicondutores, fotovoltaica, revestimento de displays