Fonte de alimentação elétrica de piso TruPlasma MF Series 7000 (G2)

CA/CApara aplicações industriaisde alta potência

Visão geral
A TruPlasma MF Série 7000 (G2) oferece controle completo sobre processos de sputtering MF com gestão de arco e comportamento de ignição superiores. Projetada como fonte de alimentação para revestimentos de grandes áreas e processos reativos exigentes, como sputtering por duplo magnetron. Pico de eficiência superior a 90% e eficiência operacional acima de 80%, juntamente com gestão eficiente da água de refrigeração para reduzir custos operacionais.

Principais benefícios

• Alta qualidade de revestimento e produtividade: excelentes resultados e altas taxas de deposição mesmo em processos reativos exigentes.
• Eficiência máxima: picos de eficiência > 90%; eficiência operacional > 80%.
• Fonte de alimentação estável em todas as condições ambientais: confiável mesmo com altas temperaturas da água de refrigeração e baixas pressões diferenciais.
• Uso global: ampla faixa de tensão de alimentação permite utilização sem ajustes técnicos locais.

Aplicações

• Revestimento de grandes áreas (ex.: vidros arquitetônicos) onde estabilidade e homogeneidade são críticas.
• Revestimento de ecrãs planos e painéis táteis com sputtering por duplo magnetron para camadas ultra‑finas de AlxOx.
• Fabricação de células fotovoltaicas e revestimento de vidro solar com camadas condutoras transparentes (TCO) por sputtering MF.

Benefícios para o cliente / Controlo do processo

• Controlo preciso do processo com poucos parâmetros para equilibrar sensibilidade a arcos e rendimento.
• Gestão de arcos superior: alta velocidade de reação, energia residual reduzida e prevenção de danos à peça por arcos; suporta modo de transição controlado por tensão.
• Diversas interfaces e o software TruControl Power permitem configuração e diagnóstico convenientes.

Opções

• Desumidificação ativa do quadro elétrico para ambientes de muita humidade (requer controlo da água de refrigeração).
• Porta do quadro elétrico com abertura particularmente ampla (opção 180°; padrão 130°).
• Interfaces: Profinet, Profibus, EtherCAT, entradas/saídas analógicas e digitais para integração.
• Gestão de arcos ultra‑rápida (UltraFastTreatment ≤ 1 mJ/kW opcional; padrão ≤ 10 mJ/kW). Categoria de segurança 3 necessária para UltraFastTreatment.
• Ignitor auxiliar para reduzir formação de arcos e stress térmico; tensão de ignição e tempo de rampa ajustáveis.
• Opção de faixa de frequência estendida: 20–70 kHz para geradores MF até 100 kW (padrão 20–50 kHz).

Software
TruControl Power: software multilingue e intuitivo para operação, configuração e diagnóstico do gerador.

Componentes do sistema e acessórios

• Cabos de potência MF TRUMPF Hüttinger otimizados fornecidos para garantir o desempenho do sistema.
• Seleção de componentes do sistema adequados para adaptar a TruPlasma MF Série 7000 (G2) ao ambiente de instalação.

Transferências
Brochura do produto disponível em formato PDF.

Especificações técnicas

• Denominação: TruPlasma MF Série 7000 (G2)
• Marca: TRUMPF
• Pico de eficiência: > 90%
• Eficiência operacional típica: > 80%
• Faixa de potência: geradores MF disponíveis até 100 kW (variantes e opções)
• Faixa de frequência padrão: 20–50 kHz; faixa estendida opcional: 20–70 kHz (até 100 kW)
• UltraFastTreatment (opcional): ≤ 1 mJ/kW; tratamento ARC padrão: ≤ 10 mJ/kW
• Requisito de segurança para UltraFastTreatment: categoria de segurança 3
• Ignition auxiliar: tensão de ignição e tempo de rampa ajustáveis
• Porta do quadro: abertura padrão 130°; opção 180°
• Refrigeração: gestão eficiente da água de refrigeração; funcionamento fiável em altas temperaturas da água e baixas pressões diferenciais
• Interfaces: Profinet, Profibus, EtherCAT, E/S analógicas e digitais
• Software: TruControl Power (multilingue) para operação, configuração e diagnóstico
• Aplicações típicas: dual magnetron sputtering, large‑area coating, processos reactivos, revestimentos finos para displays e fotovoltaico