Máquina de deposição MOCVD TurboDisc EPIK™ 700

Combina os melhores rendimentos da categoria e a maior produtividade para reduzir os custos de fabricação de LEDs O premiado sistema EPIK® 700 MOCVD da Veeco é o sistema MOCVD de maior produtividade da indústria LED que reduz o custo por wafer em até 20% em comparação com as gerações anteriores. Disponível em configurações de um e dois reatores, o EPIK 700 apresenta tecnologias inovadoras, incluindo o novo fluxo de injeção central IsoFlange™ e a bobina de wafer TruHeat™ que fornece fluxo laminar homogêneo e perfil de temperatura uniforme em todo o transportador de wafer. Essas inovações tecnológicas produzem uniformidade de comprimento de onda para aumentar os rendimentos em um recipiente mais apertado. O EPIK 700 oferece uma vantagem de produção de 2,5x sobre outros sistemas devido ao seu grande tamanho de reator. Projetado para produção em massa, o EPIK 700 acomoda tamanhos de portadores de wafer de 31x4", 12x6" e 6x8". Os clientes podem facilmente transferir processos dos sistemas TurboDisc existentes para a nova plataforma EPIK 700 MOCVD para a produção rápida de LEDs de alta qualidade. Devido à plataforma flexível EPIK 700 MOCVD, mais atualizações, benefícios adicionais e melhorias futuras continuarão a diferenciar este sistema de classe mundial. Custo por wafer economizado de até 20% em comparação com as gerações anteriores A melhor uniformidade da categoria e repetibilidade do processo conduzem a um maior rendimento numa caixa mais compacta O reator de maior produtividade do setor gera 2,5 vezes a vantagem de rendimento em comparação com os reatores anteriores Máxima produção com automação comprovada, facilidade de manutenção aprimorada, longas campanhas entre manutenção e melhoria da eficiência do footprint em comparação com o sistema MOCVD da MaxBright™