Máquina de deposição por CVD

A máquina LPCVD, com um processo maduro e estável, é uma das primeiras máquinas destinadas à produção em massa de células TOPcon. Elevado rendimento médio, boa uniformidade do filme O nosso sistema de entrada de ar patenteado melhora a uniformidade e a controlabilidade do campo de fluxo Elevado rendimento O fluxo uniforme de ar resulta num filme homogéneo e num elevado rendimento. Longa vida útil do tubo de quartzo: 6 meses de vida útil do tubo de quartzo, graças ao design inovador de fixação do tubo de quartzo e ao baixo consumo de ar. Zona de temperatura estável: a disposição adequada dos filamentos de aquecimento contribui para uma boa consistência e controlabilidade, resultando em zonas de temperatura estáveis e controláveis.