para semicondutor, para materiais magnetostritivos
Aplicações
para aplicações industriais, para laboratório, para teste de componente
Outras características
configurável
Descrição
Visão geral
A série DX-9000 é um sistema totalmente automatizado de medição de propriedades de transporte elétrico para caracterização do efeito Hall, magnetorresistência (R–H), resistência dependente da temperatura (R–T) e características I–V. Integra instrumentos de medição de precisão (por ex. Keithley), fontes de campo magnético selecionáveis (eletroímãs ou ímãs supercondutores sem hélio líquido), suportes de amostra configuráveis e software de teste automatizado para medições repetíveis.
Funções
Medir efeito Hall, características R–H (resistência vs campo magnético), características R–T (resistência vs temperatura) e características I–V (resistividade).
Derivar parâmetros: resistência de folha, resistividade, coeficiente de Hall, mobilidade Hall, concentração de portadores e tipo de condutividade.
Gerar saídas características: curvas de parâmetros dependentes da temperatura ou do campo magnético; curvas I–V sob campos e temperaturas variados; gráficos R–H e R–T para análise e relatórios.
Principais características
As medições de resistividade, coeficiente Hall e mobilidade Hall estão em conformidade com a norma ASTM‑F76.
Ampla faixa de medição de resistência e resistividade conforme a configuração (de ultra‑baixa ≈100 nΩ até altas resistências até 100 GΩ em configurações específicas).
Placa de amostra plug‑in com placa de quatro pontas fornecida para simplificar a montagem da amostra e reduzir a preparação de eletrodos.
Configuração padrão mede dois samples simultaneamente; expansão opcional suporta quatro samples.
Sequências de medição e cálculo automatizadas via software dedicado; um conjunto de dados típico de efeito Hall pode ser obtido em cerca de 3 minutos.
Campo magnético altamente estável (estabilidade 24 h < ±0,5 G) com cruzamento suave do zero; fonte do eletroímã inclui gaussímetro integrado e controle fino (resolução 0,1 G; exemplo rampa 0→1 kG em ~20 s).
Opções selecionáveis de controle de temperatura permitem medições Hall e de resistência em amplas faixas de temperatura.
Configurações disponíveis e capacidades chave
Sistemas padrão (modelos): DX-9003, DX-9005, DX-9007 — mobilidade até ~1×10^5 cm^2/Vs; faixa de concentração de portadores ~6×10^12 a 6×10^21 cm^-3; resistividade 5×10^-7 a 5×10^2 Ω·cm.
Sistemas de alta sensibilidade (modelos): DX-9003HS, DX-9005HS, DX-9007HS — mobilidade até ~1×10^6 cm^2/Vs; concentração de portadores até ~6×10^23 cm^-3; resistividade até ~5×10^-9 Ω·cm.
Sistemas de alta resistência (modelos): DX-9003HR, DX-9005HR, DX-9007HR — concentração de portadores de ~6×10^8 até ~6×10^23 cm^-3; resistividade até ~5×10^6 Ω·cm; medição de resistência até 10 GΩ.
Opções de ambiente térmico: caixa de azoto líquido monoponto (77 K); termostatos de azoto líquido (standard 80–325 K; alta temperatura 80–500 K); refrigeradores de circulação (4 K–325 K ou 10 K–325 K); forno de alta temperatura (325 K–1000 K).
Ambientes de campo magnético: eletroímãs à temperatura ambiente (ex.: 1 T @10 mm; 2,4 T @10 mm; 2,6 T @10 mm dependendo do modelo); criostatos de temperatura variável (ex.: 0,44 T @ LN2 até 2,0 T @ LN2 dependendo do modelo; 0,26–1,5 T para refrigeradores de ciclo fechado dependendo do tipo).
Componentes opcionais: plataformas criogênicas supercondutoras sem hélio líquido (série CFMS, 5 T–18 T, 1,6 K–400 K), opções óticas (polo de cabeça polar, caixa de blindagem óptica com caminho), mecanismo rotativo, bomba de vácuo, unidade de refrigeração por água em circuito e opções adicionais de temperatura/campo magnético.
Especificações técnicas
Série / modelos: série DX-9000 (variantes Standard, HS, HR: DX-9003/9005/9007; DX-9003HS/9005HS/9007HS; DX-9003HR/9005HR/9007HR).
Propriedades medidas: efeito Hall, magnetorresistência (R–H), resistência dependente da temperatura (R–T), características I–V.
Parâmetros derivados: resistência de folha, resistividade, coeficiente Hall, mobilidade Hall, concentração de portadores, tipo de condutividade.
Faixas de medição de resistência (por configuração): Standard ≈ 10 mΩ – 10 MΩ; Alta sensibilidade ≈ 0,1 mΩ – 10 mΩ (opção baixa resistência 100 nΩ – 10 mΩ); Alta resistência 0,1 mΩ – 10 GΩ.
Capacidade da fonte de corrente: Standard/HS ±50 pA – ±1,05 A (ex.: ±1,05 A @ ±21 V, ±105 mA @ ±210 V); HR ±0,1 pA – ±0,1 A; resolução de medição: HS/Standard até 10 pA / HR até 10 fA.
Fonte/medição de tensão: faixas e resoluções exemplos: Standard resolução mínima 0,1 μV (±0,1 μV – ±200 V); HS ±1 nV – ±100 V; HR ±1 nV – ±100 V.
Faixas de resistividade: Standard 5×10^-7 – 5×10^2 Ω·cm; HS 5×10^-9 – 5×10^2 Ω·cm; HR 5×10^-9 – 5×10^6 Ω·cm.
Faixas de mobilidade: Standard até ~1×10^5 cm^2/Vs; HS/HR até ~1×10^6 cm^2/Vs (dependendo do modelo).
Faixas de concentração de portadores: Standard ~6×10^12 – 6×10^21 cm^-3; HS até ~6×10^23 cm^-3; HR de ~6×10^8 – 6×10^23 cm^-3 (dependendo do modelo).
Estabilidade do campo magnético: estabilidade 24 h < ±0,5 G; gaussímetro integrado e controlo fino; cruzamento suave do zero.
Tamanhos máximos de amostra (exemplos por variante): 10 × 10 × 3 mm; 30 × 30 × 3 mm; 50 × 50 × 3 mm.
Número de amostras medidas simultaneamente: Standard 2 (expansível a 4); configurações HS/HR típicas para uma única amostra em alta sensibilidade/alta resistência.
Área de instalação típica (exemplos): 2 m × 1,5 m; 5 m × 2 m (dependendo da configuração).
Nota sobre precisão de teste: sob as suposições indicadas (espessura da amostra 100 nm, campo 10 000 Gauss, coeficiente de correção 1): precisão de medição da resistência ≈2 %; resistividade, coeficiente Hall, concentração de portadores e mobilidade ≈5 %.
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