熱処理炉 HBO series

チャンバーガス真空

金属フード炉(HBO)は、達成可能な最も低い動作圧力を発生させます。真空機能により、最高純度のガス雰囲気が得られます。 構造に使用される材料は、最高温度で最も低い蒸気圧になるように選択されています。発熱体や断熱材を傷つけることなく、最高温度での熱処理が可能。断熱のための放射線シールドは発熱体と同じ材料で作られており、繊維状の断熱材は使用されていません。 HBO炉には、モリブデン製の発熱体と輻射シールドを使用した1600℃までの使用に適したものと、タングステン製の発熱体と輻射シールドを使用した2200℃までの使用に適したものの2種類がある。 窒素ガス、アルゴンガス、水素ガスは、混合ガスまたは純ガスで使用できます。ご要望に応じて追加ガスの導入も可能です。10～1000mbarの範囲で、わずかな過圧または制御された分圧を得ることができます。分圧により、炉内のガス流量を一定に保つことができます。 完全な金属製の設計により、HBO内の最終的な真空レベルは高真空領域に達し、5 x 10-6 mbarよりも優れています。必要な真空度に応じて、異なるポンプステーションで真空を供給します。ご要望に応じて、超高真空オプションもご利用いただけます。ガスは、様々な投与装置と制御装置によって制御されます。3つの加熱ゾーンのそれぞれの温度は、最高の均一性を維持するために個別に制御されます。 アプリケーション例 annealing, soldering, ろう付け, クエンチング, シリコン処理, セラミック射出成形（CIM）, ラピッドプロトタイピング, 乾燥, 合成, 昇華, 炭化, 焼戻し, 焼結, 熱分解, 硬化, 脱気, 脱脂, 金属射出成形（MIM） 標準仕様 可能な限り純度の高い（6N以上）、精密に定義された雰囲気 高い真空品質 Fast heat up and cool down upon request ご要望に応じて、水素分圧操作 粉体加熱の為に真空ポンプの排気速度を正確に制御できます。 Certified safety management for flammable and toxic gases Fully automatic operation 品質管理用データ記録