E2423システムは、モデルE2400 2軸自動フィードバックピエゾコントローラーと、ピエゾアクチュエーターを取り付けたMDE123エリオットゴールド™シリーズXYZフレクシャーステージで構成され、各3軸で25μmのピエゾと2mmの手動調整が可能です。
DAli 4自動アライメントシステムの特徴
- 150 Vアクチュエータ用3軸ピエゾコントローラ(E1100)
- ソフトウェアまたはマニュアルコントロールによる操作
- 優れた検索と最適化ルーチン
- アライメント毎にパラメータセットを保存
- スキャンパラメータのフルコントロール
- USBインターフェース
- LabVIEW™ドライバ付属
- 鮮明なLCDディスプレイ
- S/Wパワーメーター表示
Elliot Gold™シリーズXYZフレクシャーシステージ(MDE123)の特長
- 特許取得*の超安定設計XYZフレクシャーステージ
- XYZピエゾアジャスター
- 右手用構成(左手用も注文可能)
- 25 µmのピエゾ調整トラベル
- 分解能10 nm
- 2 mmの粗動マニュアルトラベル
- 直交アライメント溝
- 4.5 kgの耐荷重
性能仕様の詳細については、各製品シートをご参照ください。
E2400 DAli 4 自動アライメントコントローラ USBインターフェース付き
E1100 ピエゾドライバー
MDE123 Elliot Gold™シリーズXYZフレクシャーステージ、ピエゾドライバー(25um)付き
DAli 4ソフトウェア(USBキー)
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