E2424システムは、モデルE2401 2軸自動フィードバックピエゾコントローラと、ピエゾアクチュエータを取り付けたMDE123エリオットゴールド™シリーズXYZフレクシャーステージで構成され、各3軸で25μmのピエゾと2mmの手動調整が可能です。
DAli 4自動アライメントシステムの特徴-プロファイラバージョン
- プロファイラモード(DALi 4 プロファイラ参照)
- 150Vアクチュエータ用3軸ピエゾコントローラ(E1100)
- ソフトウェアまたはマニュアル操作
- 優れた検索と最適化ルーチン
- アライメント毎にパラメータセットを保存
- スキャンパラメータのフルコントロール
- USBインターフェース
- LabVIEW™ドライバ付属
- 鮮明なLCDディスプレイ
- S/Wパワーメーター表示
Elliot Gold™シリーズXYZフレクシャーシステージ(MDE123)の特長
- 特許取得*の超安定設計XYZフレクシャーステージ
- XYZピエゾアジャスター
- 右手用構成(左手用も注文可能)
- 25 µmのピエゾ調整トラベル
- 分解能10 nm
- 2 mmの粗動マニュアルトラベル
- 直交アライメント溝
- 4.5 kgの耐荷重
仕様
性能仕様の詳細については、各製品シートをご参照ください。
E2401 DAli 4 PRO 自動アライメントコントローラー(USBインターフェース、外部検出器入力付き
E1100 ピエゾドライバ
MDE123 ピエゾアジャスター(25um)付きElliot Gold™シリーズXYZフレキシャーステージ
ソフトウェアには、強度/位置プロット機能用のDALi4用新プロファイラモジュールが含まれています。
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