E2426システムは、モデルE2401 3軸自動フィードバックピエゾコントローラーと、ピエゾアクチュエーターを取り付けたMDE125エリオットゴールド™シリーズXYZフレクシャーステージで構成され、各3軸で100μmのピエゾと2mmの手動調整が可能です。
特徴
- プロファイラモジュール(DALi 4プロファイラモード参照)
- 150 Vアクチュエータ用3軸ピエゾコントローラ(E1100)
- ソフトウェアまたはマニュアル操作
- 優れたサーチと最適化ルーチン
- アライメントごとにパラメータセットを保存
- スキャンパラメータのフルコントロール
- USBインターフェース
- LabVIEW™ドライバ付属
- 鮮明なLCDディスプレイ
- S/Wパワーメーター表示
- 特許取得*の超安定設計 XYZ屈曲ステージ
- XYZピエゾアジャスター
- 右手用構成(左手用も注文可能)
- 100 µmピエゾ調整トラベル
- 分解能50 nm
- 2 mm の粗動マニュアルトラベル
- 直交アライメント溝
- 4.5 kgの耐荷重
仕様
性能仕様の詳細については、各製品シートをご参照ください。
E2401 DAli 4 プロファイラ自動アライメント・システム(USBインターフェース、外部検出器入力付き
E1100 ピエゾドライバー
MDE125 Elliot Gold™シリーズXYZフレクシャーステージ(100μmピエゾアジャスター付き
DAli 4ソフトウェア(USBキー)
# DALi4用の新しいProfilerモジュールを搭載し、強度/位置プロット機能を実現
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