表面用検査装置 NS1500 series

光干渉法、マルチベアリングのレーザー照射法、新開発の傾斜欠陥法により、同一スピンドルで測定するディスク表面検査システムを開発・評価することにより、高度な分類欠陥の検出が可能である。 - 複数光学系による同一スピンドルでの検査。 - 欠陥法により微小欠陥を高感度に検出。