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高解像度露光システム LE4000A

高解像度露光システム
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特徴

特性
高解像度

詳細

カラーフィルター基板量産用高速プロキシミティ露光装置。 高スループットと高信頼性を実現。 - 高スループット 18秒/枚（露光時間を除く） - 自動アライメント、プロキシミティギャップ制御 - 非接触プリアライメント - 基板サイズ 最大400mm×500mm - インライン対応

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見本市

この販売者が参加する展示会

The Advanced Materials Show

15-16 5月 2024 Birmingham (イギリス)

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