ガラス表面検査装置 GI5400

汚染

中小型LCD・有機ELパネル製造時のコンタミネーション管理用ガラスプレート検査装置。 日立独自の技術により、薄板ガラスの表面・裏面分離検出を実現。 高検出感度、高速検査、高倍率観察を実現した高信頼性。パネル製造工程でのコンタミ管理に最適。 - 対応板ガラス ガラス厚：0.3mm～0.7mm 最大ガラス板サイズ：1300mm×1500mm - 正確な表裏面分離検出 表裏分離係数：150（表面：φ0.3 µm、裏面：φ50.0 µm、裸板厚：0.7 mm） - 高検出感度 表面異物φ0.3 µm - 高速検査 1300 mm × 1500 mm 90秒（2ヘッド光学系、φ1.0 µm高速モード） - 汚染物質を高倍率でモニター観察可能