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- Kawasaki Robotics GmbH
多関節ロボット TTS series4軸5軸ハンドリング
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特徴
- タイプ
- 多関節
- 軸数
- 4軸, 5軸
- 機能
- ハンドリング
- 設置方式
- 床置き
- 応用分野
- クリーンルーム用
- その他の特徴
- 高速, 高精度
- 可搬質量
0.7 kg
(1.543 lb)- 可動域
1,066 mm
(41.97 in)- 繰り返し性
0.1 mm
(0.0039 in)
詳細
TTSシリーズロボットは、EFEMの2FOUPと3FOUPにトラックなしでアクセスできます。特別に設計された駆動システムにより、ロボットは驚くほどスムーズかつ高精度に動くことができます。また、剛性の高いテレスコピック機構により、高い位置でも低い位置でも高速ハンドリングを実現します。
このシリーズは、SEMI-F47規格およびSEMI-S2規格に準拠しています。
アプリケーション
シリコンウェーハハンドリング
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