チャンバー炉 VF_1900_1

超高真空連続

マックス。最高温度(℃)：1900 連続使用温度(℃)：1700 体積（L）：1 真空レベル：10^-4torr ガス流量計。 マスフローコントローラー（CH4とH用に2個ずつ用意） インレットホールKF 25 (合計2個、真空用1個、不活性ガス用1個) 圧力制御。 圧力トランスミッターおよび真空センサー 真空の掃引限界: 10^-4 torr 拡散ポンプシステムは炉に組み込まれます。 真空にした後は、Ar、CH4、Hで加熱プロセスを継続します。 チャンバータイプ垂直および円筒形 加熱室。 強化されたキャビン、高真空に耐性あり 発熱体グラファイト ヒートシールドグラファイト 温度表示感度：±1°C コントロールされた冷却。 高速冷却のオプションはありません。ただし、徐冷の場合は1℃/分で制御可能です。 ローディングタイプトップローディング HMI: PLC + Siemens 9 ˚タッチスクリーン