MSI 50
逆の設計でZ軸構成干渉計モジュールで剛性花崗岩ベースとパッシブエアダンパー高精度の半径スライドをハイライトB軸
高分解能スイベル軸に取り付けられました (B軸) 基板表面に直接垂直に干渉計ユニットを配置するための
-駆動回転軸(C軸)光経路内の高開口球と平面表面を回転
させるオプションとして利用可能な様々なワークホルダー様々なワークホルダー:コレットチャック、3顎チャック、HD12-、HD25チャック
OptoTech検査ミニEL-Fデジタル2「Fizeau-干渉計モジュール
統合PCとのコンパクトな設計ワークステーションの
取り扱い:従来の (手動) または自動軸制御で μStitch MSI-ソフトウェア
オプトテック干渉計ソフトウェア μShape OWI 自動レンズ評価用
MSI 30
ハイライト
新しい多機能ステッチ干渉計 MSI 300 特にのために設計されました。直径300mmまでの高開口球をテストする。 さらに、オプションとして、直径300mmまでの平面表面を測定することができます。
剛性花崗岩ベースとパッシブエアベアリング
Z軸調整の高精度半径スライド
X/Y
軸クロススライドによる逆設計の干渉計モジュール光路の高開口球の位置決めのための高分解能スイベル軸(B軸)
直接駆動回転軸(C軸)へ光経路
標準ワークホルダーHD-40の高開口球と平野表面を回転させます (オプションとして利用可能な他のもの)
OptoTech検査ミニEL-Fデジタル 4「Fizeau-干渉計モジュール (要求に応じて他のもの)
統合されたPC作業場所の
取り扱いとコンパクトな設計:従来の (マニュアル) またはμStitch MSIソフトウェアによる自動アックス制御
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