フィゾー干渉計

... 50年以上にわたり、位相シフト干渉計は高精度の表面形状測定器として選ばれてきた技術です。 これらの干渉計は、光学部品、システム、アセンブリの表面形状誤差と透過波面を高速かつ高信頼性で測定します。 研究環境から広範な産業用途まで、レーザー干渉計は品質保証や生産後の解析のための高レベルのデータトレーサビリティを提供します。レーザー干渉計は、製造工程に不可欠なものとなっています。 ZygoのQualifireは、この種の装置における既知の課題に対するソリューションを提供することで、レーザー干渉計の飛躍的な進歩を象徴しています。 位相シフト干渉計への新しいアプローチ 多くの最新システムにおける光学計測に共通するフィゾー設計では、固定された軸上のコヒーレント点光源を使用して干渉計キャビティを照射する。 ...

... Verifire™ 干渉計システムは、光学部品、システム、およびアセンブリの表面形状誤差と透過波面の高速で信頼性の高い測定を提供します。 真のレーザーフィゾー設計であるVerifire™システムは、表面形状測定におけるZYGOの比類なき経験を継承しています。ZYGOが製造したHeNeレーザー光源と、ZYGOの特許取得済みのアルゴリズム、フル機能のMx™測定ソフトウェアを組み合わせることで、使いやすい解析機能を備えた高精度の測定装置を実現します。 製造現場での信頼性の高い測定 この数年間で、光学測定技術は飛躍的に進歩しました。 ...

... 平行平板測定をよりシンプルに。表面が複数ある測定は、複雑な干渉縞が生じます。Verifire™ MSTは、特許取得済みの波長シフト技術を使用して、複数の表面から位相データを同時に取得します。 平行板ガラスの各表面、透過波面からの主な指標の他、全体の厚みのムラ (TTV)、ウェッジ、材料の不均一性などの正確な表面間情報を測定します。 Verifire™ MSTは、モバイルデバイスのディスプレイガラス、データストレージディスク、半導体ウェーハなどの要求の厳しいアプリケーションに対応し、0.5mmの薄いテスト部品の表面と厚みムラを正確に測定します。 ...

... 非球面光学系は、防衛・航空宇宙、半導体露光・検査装置、医療用画像システムなどの産業で使用されるイメージング、センシング、レーザーシステムの設計と実装に大きな利点をもたらします。 これらのアプリケーションをサポートする非球面の製造は、精密な計測に依存しています。 結局のところ、非球面光学部品に関して言えば、測定できないものは作れないのです。 Verifire Asphere+ (VFA+) は、フィゾー干渉計の利点を活かし、軸対称非球面に対して、高精度、高解像度、高速、フルアパーチャーのユニークな組み合わせの計測を提供します。 VFA+は、透過球を交換するだけで、様々な軸対称非球面を測定できる柔軟な測定プラットフォームを提供します。また、オプションのセカンダリーステージは、非対称自由曲面や軸外し非球面光学系に対応したコンピュータ生成ホログラム（CGH）をサポートし、非球面形状測定機能を拡張することができます。 NEW!ユーザーエクスペリエンスの向上に重点を置き、新しい測定のセットアップ、測定データと結果のナビゲート、生産上の問題の診断が簡単に行えるようになりました。Mx™ ...

... 大口径で設置面積の小さいVerifire XLは、直径300mmまでの平面光学部品を簡単にテストできる、干渉計ワークステーションです。 この完全統合型のシステムは、カスタム治具が不要で、繰り返し測定可能な部品配置を提供する使いやすい頑丈なチップ/チルトステージを備えています。 コンパクトな設置面積に除振装置とコントローラモニタースタンドを組み込むことで、必要なスペースを最低限に抑えます。 ...

... 効率的な光学部品測定のための干渉計ワークステーション Verifire™ MSTレーザー干渉計ワークステーションZYGOのVerifire VTSは、用途に合わせて設計された球面測定用干渉計ワークステーションです。 垂直上向きのワークステーションはテスト部品を所定の位置に保持することで、高速ピックアンドプレース測定を可能にします。 内蔵型のパッシブ除振システムと石定盤のベースが、生産環境でも最高のパフォーマンスを実現できる測定用プラットフォームを提供します。 可動範囲1mの電動Zステージで、テスト部品の素早い配置が可能になり、曲率半径も得られます。 VTSは、さまざまな干渉計メインフレームと互換性があり、製造や開発のニーズに適したパフォーマンスレベルを選択できます。 ...