大開口干渉計

... 非球面光学系は、防衛・航空宇宙、半導体露光・検査装置、医療用画像システムなどの産業で使用されるイメージング、センシング、レーザーシステムの設計と実装に大きな利点をもたらします。 これらのアプリケーションをサポートする非球面の製造は、精密な計測に依存しています。 結局のところ、非球面光学部品に関して言えば、測定できないものは作れないのです。 Verifire Asphere+ (VFA+) は、フィゾー干渉計の利点を活かし、軸対称非球面に対して、高精度、高解像度、高速、フルアパーチャーのユニークな組み合わせの計測を提供します。 VFA+は、透過球を交換するだけで、様々な軸対称非球面を測定できる柔軟な測定プラットフォームを提供します。また、オプションのセカンダリーステージは、非対称自由曲面や軸外し非球面光学系に対応したコンピュータ生成ホログラム（CGH）をサポートし、非球面形状測定機能を拡張することができます。 NEW!ユーザーエクスペリエンスの向上に重点を置き、新しい測定のセットアップ、測定データと結果のナビゲート、生産上の問題の診断が簡単に行えるようになりました。Mx™ ...

... 大口径で設置面積の小さいVerifire XLは、直径300mmまでの平面光学部品を簡単にテストできる、干渉計ワークステーションです。 この完全統合型のシステムは、カスタム治具が不要で、繰り返し測定可能な部品配置を提供する使いやすい頑丈なチップ/チルトステージを備えています。 コンパクトな設置面積に除振装置とコントローラモニタースタンドを組み込むことで、必要なスペースを最低限に抑えます。 ...

... ZYGOの水平軸ビームエキスパンダーは、4インチの干渉計の通常の開口部寸法を12インチ、18インチ、24インチ、さらには32インチまで拡大し、大型光学部品と光学系の検証における高精度の干渉計測を実現します。 水平大型開口装置は、2つの独立した計測チャンネルを確保する独自の機能を提供します。1つはネイティブの4インチ干渉計開口、もう1つは最大32インチの拡張ビームで、1つの装置に2つの干渉計の柔軟性を与えます。 適切なアクセサリを使用して構成することにより、大型開口装置を使用して、表面形状と透過波面の質の両方を測定できます。 ...