大開口干渉計

レーザー高解像度

ZYGOの水平軸ビームエキスパンダーは、4インチの干渉計の通常の開口部寸法を12インチ、18インチ、24インチ、さらには32インチまで拡大し、大型光学部品と光学系の検証における高精度の干渉計測を実現します。 水平大型開口装置は、2つの独立した計測チャンネルを確保する独自の機能を提供します。1つはネイティブの4インチ干渉計開口、もう1つは最大32インチの拡張ビームで、1つの装置に2つの干渉計の柔軟性を与えます。 適切なアクセサリを使用して構成することにより、大型開口装置を使用して、表面形状と透過波面の質の両方を測定できます。