光学式干渉計 MetroCell レーザー
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特徴
- オプション
- レーザー, 光学式
詳細
MetroCell800mmのZステージ可動範囲を持つ、5軸電動でプログラム可能なアライメント用ステージと、内蔵型のパッシブ除振システムを備えた、超高性能の垂直下向き干渉計ワークステーションです。 Zステージ上に2軸DMIを備えたMetroCellは、最も精度の高い球面曲率半径測定用プラットフォームです。 曲率半径の測定精度は0.001% 以下です。 < 0.001% of radius value.
