変位測定用干渉計

ZYGOの干渉計構成は、さまざまな測定シナリオに対応可能です。標準品以外に、用途に合わせたカスタマイズ干渉計の設計が可能です。単軸から複数軸、真空中での使用についても対応します。

ZMI測定電子エレクトロニクス（基板） ZMI™ 測定用電子エレクトロニクスは、ZMI™ レーザー光源による干渉計からの光信号の変位を計算します。 ZMI™2400、4000、および4100シリーズは、より高精度が必要となる位置計測アプリケーション向けのサブナノメートル分解能を提供します。これらの測定基板をVMEシャーシにモジュール式に追加することで、最大64軸の測定に拡張可能です。 更に高い精度での測定を実現するため、当社特許取得の周期的誤差（サイクリックエラー）補正オプションが、DMIシステムの非線形誤差を自動的かつシームレスに除去します。 ZMI™ ...

... 長さ、ピッチ、ヨー角を同時に高精度に測定するトリプルビームレーザー干渉計測定システム。 最高精度のフレキシブルな長さ測定システム ビーム方向検出機能を搭載しているため、取り扱いと調整が容易。 球面反射鏡、平面反射鏡など、さまざまな光学反射鏡が使用可能です。 測定用リフレクターは最大±12.5°まで傾けることができる。 コンパクトな設計 センサーヘッドをアルミニウム、ステンレス、インバー合金で設計。 ビーム距離：12 mm OEMバージョン、OEMソフトウェア、バキュームバージョンが可能 オプションの調整可能な偏向ミラーでビームを偏向可能 オプションのインターフェイスにより、アプリケーションの幅が広がる 豊富なトリガーオプション 現在有効な規格に準拠したキャリブレーションソフトウェア 産業界や研究分野では、高精度な変位・角度同時計測が求められることが多くあります。トリプルリフレクターユニットが固定されたキャリッジの移動中に、長さ測定だけでなくピッチ角とヨー角を同時に取得することで、運動軸を迅速かつ高精度に評価することが可能になります。特に、高速で簡単なセンサー調整が重要です。 SP ...

... 高精度な長さ測定が可能なレーザー干渉式測定装置 高精度な長さ測定が可能なフレキシブルな長さ測定システム ビーム方向検出機能を内蔵しているため、取り扱いが容易で調整も容易 三面鏡、球面鏡、平面鏡など、さまざまな光反射板を使用可能 測定用リフレクターは、最大±22.5°まで傾けることができます。 コンパクトで堅牢な設計 防滴仕様のセンサーハウジング センサーヘッドのデザインは、アルミニウム、ステンレススチール、インバー合金から選択できます。 政府規格へのトレーサビリティ OEMバージョン、OEMソフトウェア、バキュームバージョンが可能 オプションのインターフェースにより、アプリケーションの幅が広がる 豊富なトリガーオプション ガイド、測定ステージ、顕微鏡、位置決めステージ、三次元測定機、工作機械での長さ測定や校正、また多点測定には、高精度で信頼できる結果が不可欠です。ユニバーサルレーザー干渉計 ...

... 2本の平行な測定ビームを持つ高安定な差動レーザー干渉計。 高精度な長さ・角度の差分測定 差動測定による環境影響の最小化 熱的に長期間安定したセンサー、温度感度 < 20 nm/K 様々な光反射板を使用することができる 測定用リフレクターの大きな傾き不変性 ステンレス製のセンサーヘッドを標準装備 ビーム距離：21 mm 豊富なトリガーオプション WindowsおよびLinuxのOEMソフトウェア用のオープンインターフェース 超安定型差動レーザー干渉計 ...

マイクロエプシロンの革新的な白色光干渉計は、高精度な距離・厚さ測定におけるベンチマークを打ち立てています。このセンサはサブナノメートルの分解能で安定した測定結果をもたらし、比較的広い測定範囲と長いオフセット距離を提供しています。現在ご提供している干渉計は、高精度な工業用距離測定のためのIMS5400-DS、正確な厚さ測定のためのIMS5400-TH、ピコメートル分解能の距離測定に対応した真空環境に適したIMS5600-DSの3種類です。 特徴 • - ナノメートル精度の絶対距離測定 • ...

新しい白色光干渉計 IMS5600-DSは、最高精度で距離測定を行うために使用されます。コントローラにはインテリジェントな評価による特殊調整機能が搭載されており、サブナノメートルの分解能で絶対測定を行うことができます。この干渉計は、電子機器や半導体の生産といった最高の精度要件が求められる測定タスクに使用します。 特徴 • - サブナノメートル精度の距離測定 • - クラス最高：分解能 < 30ピコメートル • - 段付きプロファイルなどの測定に最適な絶対測定 • ...

... 1.高精度な測定が可能です。高精度環境補正ユニットにより、周囲温度、圧力、湿度、材料温度による測定結果への影響を排除します。レーザー熱周波数安定化制御システムの使用により、レーザーの長期周波数安定性を確保できます。 2.それは直線性、角度、直線性、垂直性および他の幾何学的な変数を測定できます; それは CNC の工作機械、座標測定機械および他の精密運動装置のためのガイド・レールの線形位置の正確さそして繰り返しの位置の正確さを測定できます; それはガイド・レールのピッチ角、振動角度、垂直性および直線性、さらにそれを工作機械の回転式軸線の目盛りを付けることができます測定することができます。 3.ユーザーによる補正設定により、工作機械の校正に必要な誤差補正テーブルを自動生成します。 4.動的測定（変位-時間曲線、速度-時間曲線、加速度-時間曲線）、振幅測定、周波数解析の機能により、工作機械の振動試験、ボールねじの動的特性、駆動システムの応答特性、ガイドレールの動的特性などの解析が可能です。 5.GB、ISO、BS、ANSI、DIN、JISなどの国内および国際規格を内蔵しています。 ...

... 高精度非接触変位計測 高精度な変位計測のために、スマーアクトは干渉計PICOSCALEを提供します。 - 1台で3つの平行レーザー干渉計を使用した3D測定が可能 - 測定帯域幅は最大2.5 MHz（サンプルレート10 MHz）、分解能は最大1 pm1 - ほとんどの材料で測定が可能（プラスチック、ガラス、金属、水まで） - 用途や環境（真空や極低温を含む）に応じて、幅広いセンサヘッドを用意 - オプションのモジュールを使用することで、完全なラボ用測定・制御機器に拡張可能 - ...

... コントローラーには、レーザーと検出用電子機器が搭載されており、複数のインターフェースを介してすべてのデータを提供します。 PICOSCALE干渉計は、非接触で変位を測定するための強力なシステムです。PICOSCALE干渉計コントローラーには、レーザー光源と、光信号を評価するために必要なすべての電子機器が搭載されています。この信号は、光ファイバを介してコントローラに接続されたセンサヘッドで生成されます。ビームスプリッターにより、レーザービームは参照光と測定光に分けられ、それぞれ参照ミラー（通常はセンサーヘッド内）とターゲットで反射されます。マイケルソンの原理により、ターゲットの反射率を考慮する必要はほとんどありません。PICOSCALE干渉計コントローラーは、強力なファームウェアモジュール、便利なソフトウェア、多彩なアクセサリーにより、新規または既存の測定セットアップに簡単に組み込むことができます。 出力信号 チャンネル数：3 データレート[MHz] ...

... ティームフォトニクスは、ピコメータスケールの変位や振動を測定するための、コンパクトで安定した高性能な干渉計を新たに開発し、提供しています。 ティームフォトニクスの PicoMove 干渉計は、高安定性アーキテクチャのシングルチップ集積をベースにしており、超低ノイズでの計測を実現します。 目に安全な1.55µmの動作波長は、市販のテレコム光源との互換性を提供します。 また、光ビームのアライメントを容易にするため、可視光波長にも対応したセンサー設計となっています。ティームでは、低熱膨張材料や超高真空環境用のパッケージングオプションを提案しています。測定システムの電気部分（レーザー光源、ディテクタ）は、信頼性の高いファイバーピグテーリングにより遠隔操作されます。 ...