変位測定用干渉計

... 新しい白色光干渉計 IMS5600-DSは、最高精度で距離測定を行うために使用されます。コントローラにはインテリジェントな評価による特殊調整機能が搭載されており、サブナノメートルの分解能で絶対測定を行うことができます。この干渉計は、電子機器や半導体の生産といった最高の精度要件が求められる測定タスクに使用します。 特徴 • - サブナノメートル精度の距離測定 • - クラス最高：分解能 < 30ピコメートル • - 段付きプロファイルなどの測定に最適な絶対測定 • - オフセット距離が長く、コンパクトで堅固なセンサ • ...

... 1.高精度な測定が可能です。高精度環境補正ユニットにより、周囲温度、圧力、湿度、材料温度による測定結果への影響を排除します。レーザー熱周波数安定化制御システムの使用により、レーザーの長期周波数安定性を確保できます。 2.それは直線性、角度、直線性、垂直性および他の幾何学的な変数を測定できます; それは CNC の工作機械、座標測定機械および他の精密運動装置のためのガイド・レールの線形位置の正確さそして繰り返しの位置の正確さを測定できます; それはガイド・レールのピッチ角、振動角度、垂直性および直線性、さらにそれを工作機械の回転式軸線の目盛りを付けることができます測定することができます。 3.ユーザーによる補正設定により、工作機械の校正に必要な誤差補正テーブルを自動生成します。 4.動的測定（変位-時間曲線、速度-時間曲線、加速度-時間曲線）、振幅測定、周波数解析の機能により、工作機械の振動試験、ボールねじの動的特性、駆動システムの応答特性、ガイドレールの動的特性などの解析が可能です。 5.GB、ISO、BS、ANSI、DIN、JISなどの国内および国際規格を内蔵しています。 ...

... 長さ、ピッチ、ヨー角を同時に高精度に測定するトリプルビームレーザー干渉測定システム - 最高精度のフレキシブルな測長システム - 統合されたビーム方向検出により、取り扱いと調整が容易 - 球面反射鏡、平面反射鏡など、さまざまな光学反射鏡を使用可能 - 最大±12.5°までの測定リフレクターの傾斜が可能 - コンパクト設計 - センサーヘッドはアルミニウム、ステンレス、インバー製から選択可能 - ビーム距離：12 mm - OEMバージョン、OEMソフトウェア、真空バージョンが可能 - オプションの調整可能な偏向ミラーによるビーム偏向 - ...

... 当社の超高安定性差動レーザー干渉計「SP 5000 DI」は、独自の熱安定性を特徴としており、そのため、材料特性の分析など、研究開発における長期測定に最適です。 標準的な干渉計とは対照的に、差動型では基準光がセンサーヘッドから導出され、測定光と平行に走ります。この構造により、測定の分解能や安定性に大きな影響を与えることなく、センサーを実際の測定位置からより離れた場所に設置することが可能になります。 この干渉計の長さ分解能はサブナノメートル級であり、差動原理により、通常の実験室条件下でも、同等の測定長またはビーム長でこの分解能を実現できます。 測定に傾斜不変反射板を使用すれば、長さ測定の測定範囲は数メートルに達します。この干渉計測定システムはモジュール式設計を採用しており、それぞれの測定課題に合わせて適応させることができます。 調整は簡単で、とりわけ長期的な安定性を確保して実施可能です。 ...

... 超高安定性かつコンパクトなSP 5000 DI/F差動干渉計は、長期間にわたり極めて安定した長さ測定が求められる用途向けに設計されています。コンパクトなセンサー設計により、狭いスペースでも長期にわたり安定した調整と設置が可能であり、この高精度測定システムは閉ループ制御用のレーザースケールとして最適です。 この用途では、測定値の安定性を最適化するために、通常は測定範囲の中央に外部基準点を設置する必要があります。この干渉計の基本原理はSP 5000 DIシリーズに基づいており、サブナノメートル範囲の長さ分解能を実現します。 ...

ZYGOの干渉計構成は、さまざまな測定シナリオに対応可能です。標準品以外に、用途に合わせたカスタマイズ干渉計の設計が可能です。単軸から複数軸、真空中での使用についても対応します。

... ZMI測定電子エレクトロニクス（基板） ZMI™ 測定用電子エレクトロニクスは、ZMI™ レーザー光源による干渉計からの光信号の変位を計算します。 ZMI™2400、4000、および4100シリーズは、より高精度が必要となる位置計測アプリケーション向けのサブナノメートル分解能を提供します。これらの測定基板をVMEシャーシにモジュール式に追加することで、最大64軸の測定に拡張可能です。 更に高い精度での測定を実現するため、当社特許取得の周期的誤差（サイクリックエラー）補正オプションが、DMIシステムの非線形誤差を自動的かつシームレスに除去します。 ZMI™ ...

... 概要
HORIZONはMarpossの次世代干渉計コントローラで、工業用途の精密測定向けに設計されています。ナノメートル精度の測定能力と柔軟な統合オプションを提供し、プロセス最適化、廃棄削減、品質管理の強化を支援します。

主な利点

• 高精度フィードバックによるプロセス最適化
• 不良品や手直しの削減
• ナノメートル解像度による品質管理の向上
• 多様な材料や形状に対応するセンサおよびインターフェースの柔軟性

• 製造分野の精密測定（半導体、3C機器、EV部品等）
• ライン生産のインライン制御およびラボ検査
• 反射材や透明材の厚さ・表面測定

• 製品種別:

... 変位を高精度に測定するために、スマーアクトはPICOSCALE干渉計を提供しています。 3D測定用パラレルレーザー干渉計3台を1台に搭載 測定帯域幅は最大2.5MHz（サンプルレート10MHz）、分解能は1pm1以下 ほとんどの材料で測定可能（プラスチック、ガラス、金属、さらには水まで） 様々なアプリケーションや環境（真空や極低温を含む）に対応する幅広いセンサーヘッドを用意 オプションモジュールにより、完全なラボ用測定・制御装置に拡張可能 多くのお客様にご満足いただいている実績 1 周期変位を周波数領域で分析する場合 動作原理 PICOSCALEの全製品は、ビームスプリッターを使って光束を2つの経路に分け、ミラーで反射させた後、再結合させて干渉縞を生成するマイケルソン干渉計をベースにしています。変位や屈折率の変化によって光路長が変化すると干渉縞が変化し、ピコメーターの位置変化を高精度で測定することができます。 マイケルソン干渉計の利点 マイケルソン干渉計は、光を分割・再結合することで、ナノメートルまたはサブナノメートルの精度で微小な変位、振動、屈折率変化を測定し、卓越した精度と信頼性を提供します。その多用途性、非接触操作、超高真空や極低温のような厳しい環境下での性能により、計測、光学、先端研究のアプリケーションに不可欠なものとなっています。 ...

... PICOSCALE干渉計コントローラーは、狭帯域レーザー光源と、光信号を処理・解析するために必要な電子機器を備えています。マイケルソン干渉計として機能する小型化されたセンサーヘッドが、これらの信号を捉えます。これらのセンサーは、最大3チャンネルの光ファイバーを介してコントロール・ユニットに接続され、非接触で高精度の変位計測を可能にします。堅牢なファームウェア、ユーザーフレンドリーなソフトウェア、豊富なアクセサリーにより、PICOSCALE干渉計コントローラーは、新規または既存の測定構成にかかわらず、シームレスに統合できます。 チャンネル数 ...

... HPI-3Dリニアレーザー計測システムは、迅速で簡単なインストールとダイナミックな3DOF計測を一度に行うことができるレーザー干渉計です。HPI-3Dは、非常に高速で測定を行い、高い精度で結果を返します。この装置は、高精度レーザー干渉計分野における20年以上の経験の賜物です。この干渉計は、レーザー測定の分野における「ノウハウ」と最高のパラメーターを象徴しています。また、最高の品質、豊富なアクセサリーとオプション、使いやすさとコンパクトさも兼ね備えています。 もう測定に限界はありません！リニア計測システムHPI-3Dは、最新のレーザーシステムのパラメータを最適化します。非常に高速な移動速度、超高分解能、高サンプルレートにより、非常に要求の厳しいアプリケーションにも適しています。 万能な測定器は存在しませんが、HPI-3Dはそれに近づきます。HPI-3Dは、長い距離（数十m）、非常に短い距離（数百ピコm）、機械の形状を計測し、非常に速い動きや非常に遅い動きを検出することができます。振動の監視、角度の測定、距離の比較など、様々なことが可能です。このレーザー装置は、科学研究所、機械産業の作業場、屋外などで使用できる。コンピューター、タブレット、スマートフォンで制御できるだけでなく、ユーザーは様々な方法で機能を変更することができる。 ...