校正干渉計 SP 5000 TR

OEM用途用サブピコメーター変位測定用測長用

長さ、ピッチ、ヨー角を同時に高精度に測定するトリプルビームレーザー干渉測定システム - 最高精度のフレキシブルな測長システム - 統合されたビーム方向検出により、取り扱いと調整が容易 - 球面反射鏡、平面反射鏡など、さまざまな光学反射鏡を使用可能 - 最大±12.5°までの測定リフレクターの傾斜が可能 - コンパクト設計 - センサーヘッドはアルミニウム、ステンレス、インバー製から選択可能 - ビーム距離：12 mm - OEMバージョン、OEMソフトウェア、真空バージョンが可能 - オプションの調整可能な偏向ミラーによるビーム偏向 - オプションのインターフェースによる幅広いアプリケーション - 豊富なトリガーオプション - 現在有効な規格に準拠した校正ソフトウェア 産業界や研究分野において、高精度の変位・角度同時測定が必要とされるアプリケーションは数多くあります。トリプルリフレクタユニットが固定されたキャリッジの移動中に、長さ測定と同様にピッチ角とヨー角を同時に取得することで、運動軸を迅速かつ高精度に評価することができます。高速で簡単なセンサー調整は、特に重要です。 トリプルビームレーザ干渉計 SP 5000 TR は、3 つの干渉計を 1 台にまとめた精密測長器です。3つの測定チャンネルはすべて、同じ安定性の高いレーザー周波数を持つ1つの光源から供給されます。そのため、3つの長さ値をナノメートルの精度で同時に測定することができます。