レーザー干渉計 SP 5000 DI

OEM用途用サブナノメーター変位測定用測長用

2本の平行な測定ビームを持つ高安定な差動レーザー干渉計。 最高精度の差分長さまたは角度測定 差動測定による環境影響の最小化 熱的長期安定性センサー、温度感度 < 20 nm/K 球面反射鏡、平面反射鏡など、さまざまな光反射鏡が使用可能です。 測定用リフレクターの大きな傾き不変性 センサーヘッドデザイン（ステンレススチール製）を標準装備 ビームディスタンス：21 mm 豊富なトリガーオプション WindowsおよびLinuxのOEMソフトウェアのためのオープンインターフェース 超安定型差動レーザー干渉計SP 5000 DIは、独自の熱安定性を特徴としており、材料特性の分析など、研究開発における長期的な測定に好適です。 標準的な干渉計とは対照的に、ディファレンシャルタイプでは参照ビームがセンサーヘッドから導出され、測定ビームと平行に走行しています。このコンセプトにより、分解能や安定性に大きな影響を与えることなく、センサーを実際の測定位置から大きく離して配置することができます。この干渉計の長さ分解能はサブナノメートルの範囲にあり、差動原理により、通常の実験室条件下でも同等の測定長やビーム長で達成することが可能です。 長さ測定の測定範囲は、測定に傾き不変の反射板を使用した場合、数メートルになります。この干渉計システムはモジュール設計になっており、それぞれの測定タスクに適合させることが可能です。