レーザー干渉計 SP 5000 DI

OEM用途用サブナノメーター変位測定用測長用

2本の平行な測定ビームによる高安定な差動レーザー干渉計 - 最高精度の長さまたは角度の差分測定 - ディファレンシャル測定による環境影響の最小化 - 熱的に長期間安定したセンサー、温度感度 < 20 nm/K - 球面反射鏡、平面ミラー反射鏡など、様々な光学反射鏡を使用可能 - 測定リフレクターの大きな傾斜不変性 - ステンレス製センサーヘッドを標準装備 - ビーム距離：21 mm - 豊富なトリガーオプション - WindowsおよびLinuxのOEMソフトウェア用のオープンインターフェース 当社の超安定差動レーザー干渉計 SP 5000 DI は、独自の熱安定性を特徴としており、材料特性の分析など、研究開発における長期的な測定に適しています。 標準的な干渉計とは対照的に、ディファレンシャルタイプでは参照ビームがセンサーヘッドから導出され、測定ビームと平行に走ります。このコンセプトにより、測定分解能や安定性に大きな影響を与えることなく、センサーを実際の測定位置から大きく離して設置することができます。この干渉計の長さ分解能はサブナノメートルの範囲にあり、差動原理により、通常の実験室条件下でも同等の測定長やビーム長を達成することができます。 長さ測定の測定範囲は、測定に傾斜不変リフレクターを使用した場合、数メートルになります。干渉測定システムはモジュール設計であるため、それぞれの測定タスクに適合させることができます。