OEM用途用干渉計

... 長さ、ピッチ、ヨー角を同時に高精度に測定するトリプルビームレーザー干渉測定システム - 最高精度のフレキシブルな測長システム - 統合されたビーム方向検出により、取り扱いと調整が容易 - 球面反射鏡、平面反射鏡など、さまざまな光学反射鏡を使用可能 - 最大±12.5°までの測定リフレクターの傾斜が可能 - コンパクト設計 - センサーヘッドはアルミニウム、ステンレス、インバー製から選択可能 - ビーム距離：12 mm - OEMバージョン、OEMソフトウェア、真空バージョンが可能 - オプションの調整可能な偏向ミラーによるビーム偏向 - ...

... 当社の超高安定性差動レーザー干渉計「SP 5000 DI」は、独自の熱安定性を特徴としており、そのため、材料特性の分析など、研究開発における長期測定に最適です。 標準的な干渉計とは対照的に、差動型では基準光がセンサーヘッドから導出され、測定光と平行に走ります。この構造により、測定の分解能や安定性に大きな影響を与えることなく、センサーを実際の測定位置からより離れた場所に設置することが可能になります。 この干渉計の長さ分解能はサブナノメートル級であり、差動原理により、通常の実験室条件下でも、同等の測定長またはビーム長でこの分解能を実現できます。 測定に傾斜不変反射板を使用すれば、長さ測定の測定範囲は数メートルに達します。この干渉計測定システムはモジュール式設計を採用しており、それぞれの測定課題に合わせて適応させることができます。 調整は簡単で、とりわけ長期的な安定性を確保して実施可能です。 ...

... 長距離レーザー干渉計「SP 15000 NG」は、長距離での長さ測定のために特別に設計されたものであり、「SP 5000 NG」製品ファミリーの技術をさらに発展させたものです。センサーヘッドには、長距離測定に最適化されたレーザービームを実現するための追加光学系が搭載されています。 大型の座標測定機や工作機械、長い直線軸、および校正距離が、この高精度リニアエンコーダの主な用途となります。測定プロセスにおいて、測定結果の正確性には、室内の温度分布や測定場所の温度分布が決定的な役割を果たします。 このため、高精度な用途においては、この干渉計を当社のLCS精密気候測定ステーションと組み合わせて使用することを推奨します。 調整と取り扱いが容易 最大80 ...

... 超高安定性かつコンパクトなSP 5000 DI/F差動干渉計は、長期間にわたり極めて安定した長さ測定が求められる用途向けに設計されています。コンパクトなセンサー設計により、狭いスペースでも長期にわたり安定した調整と設置が可能であり、この高精度測定システムは閉ループ制御用のレーザースケールとして最適です。 この用途では、測定値の安定性を最適化するために、通常は測定範囲の中央に外部基準点を設置する必要があります。この干渉計の基本原理はSP 5000 DIシリーズに基づいており、サブナノメートル範囲の長さ分解能を実現します。 ...

... 製品説明
SP 5000 DI/DSは、差動干渉計の原理と多線干渉計を組み合わせ、長さと角度（チルト）の同時かつ高い安定性を持つ測定を実現します。この構成により、広い領域での極微小な変位やわずかな傾きを検出し、熱的・環境的影響の感度を低減します。

主な特長

• 四光束レーザー干渉方式の変位・角度差分測定システム
• 差動による安定した長さおよびピッチ（角度）測定
• XYステージや平面鏡への組み込みを想定した設計
• ビーム間隔：15