OEM用途用干渉計

マイクロエプシロンの革新的な白色光干渉計は、高精度な距離・厚さ測定におけるベンチマークを打ち立てています。このセンサはサブナノメートルの分解能で安定した測定結果をもたらし、比較的広い測定範囲と長いオフセット距離を提供しています。現在ご提供している干渉計は、高精度な工業用距離測定のためのIMS5400-DS、正確な厚さ測定のためのIMS5400-TH、ピコメートル分解能の距離測定に対応した真空環境に適したIMS5600-DSの3種類です。 特徴 • - ナノメートル精度の絶対距離測定 • ...

... 長さ、ピッチ、ヨー角を同時に高精度に測定するトリプルビームレーザー干渉測定システム - 最高精度のフレキシブルな測長システム - 統合されたビーム方向検出により、取り扱いと調整が容易 - 球面反射鏡、平面反射鏡など、さまざまな光学反射鏡を使用可能 - 最大±12.5°までの測定リフレクターの傾斜が可能 - コンパクト設計 - センサーヘッドはアルミニウム、ステンレス、インバー製から選択可能 - ビーム距離：12 mm - OEMバージョン、OEMソフトウェア、真空バージョンが可能 - ...

... 高精度長さ測定用レーザー干渉計システム - 最高精度のフレキシブルな長さ測定システム - 統合されたビーム方向検出により、取り扱いと調整が容易 - トリプルミラー、球面ミラー、平面ミラー反射鏡など、様々な光学反射鏡を使用可能 - 測定用反射鏡は最大±22.5°まで傾斜可能 - コンパクトで堅牢な設計 - センサーハウジングは防滴構造 - アルミ、ステンレス、インバー製センサーヘッドの設計（オプション - 政府規格へのトレーサビリティ - OEMバージョン、OEMソフトウェア、真空バージョンが可能 - ...

... 2本の平行な測定ビームによる高安定な差動レーザー干渉計 - 最高精度の長さまたは角度の差分測定 - ディファレンシャル測定による環境影響の最小化 - 熱的に長期間安定したセンサー、温度感度 < 20 nm/K - 球面反射鏡、平面ミラー反射鏡など、様々な光学反射鏡を使用可能 - 測定リフレクターの大きな傾斜不変性 - ステンレス製センサーヘッドを標準装備 - ビーム距離：21 mm - 豊富なトリガーオプション - WindowsおよびLinuxのOEMソフトウェア用のオープンインターフェース 当社の超安定差動レーザー干渉計 ...

... 長距離での高精度長さ測定のためのレーザー干渉測定システム - 最高精度のフレキシブルな長さ測定システム - 長距離での高精度長さ測定 - 調整と取り扱いが容易 - 最大80mまでの測定が可能 - コンパクト設計 - 豊富なトリガーオプション - WindowsおよびLinuxのOEMソフトウェア用のオープンインターフェース SP 15000 NG ロングレンジレーザー干渉計は、長距離の長さ測定用に特別に設計されたもので、SP 5000 NG 製品シリーズをベースとしています。センサーヘッドには、レーザービームを大きな測定長に最適に適応させる光学部品が追加されています。この高精度リニアエンコーダの主な用途は、大型の三次元測定機や工作機械、長い直線軸、校正距離などです。 ...

... 超安定小型差動レーザー干渉計 - 最高精度の長さまたは角度の差分測定 - 差動測定による環境影響の最小化 - 熱的に超安定なセンサー設計、温度感度 < 10 nm/K - 球面反射鏡、平面ミラー反射鏡など、様々な光学反射鏡を使用可能 - 測定用反射鏡の大きな傾斜不変性 - コンパクトで堅牢な設計 - ステンレス製センサーヘッドを標準装備 - ビーム距離：14 mm - OEMバージョン、OEMソフトウェア、真空バージョンが可能 - オプションのインターフェースでフィードバックシステムとして使用可能 - ...