OEM用途用干渉計 SP 5000 DI/F

サブナノメーター変位測定用測長用光学式

超安定小型差動レーザー干渉計 最高精度の差分長さまたは角度測定 差動測定による環境影響の最小化 熱的に超安定なセンサー設計、温度感度 < 10 nm/K 球面反射鏡、平面反射鏡など、さまざまな光反射鏡が使用可能です。 測定用リフレクターの大きな傾き不変性 コンパクトで堅牢なデザイン センサーヘッドデザイン（ステンレススチール製）を標準装備 ビームディスタンス：14mm OEM版、OEMソフト、真空版も可 は、オプションのインターフェースにより、フィードバックシステムとして使用することができます。 豊富なトリガーオプション 超安定でコンパクトなSP 5000 DI/F差動干渉計は、長期間にわたって高度に安定した長さ測定を実施する必要があるアプリケーション向けに設計されています。コンパクトなセンサー設計により、狭い場所でも長期間安定した調整と配置が可能なため、精密測定システムは閉制御ループのレーザースケールとして最適です。このアプリケーションでは、最適な測定値の安定性を得るために、通常、測定範囲の中間に配置される外部基準点が必要です。干渉計の基本原理はSP 5000 DIシリーズをベースにしているため、サブナノメーターレンジの長さ分解能も実現しています。SPシリーズの反射板を使用すれば、数メートル以上の測定も容易に可能です。