高精度な長さ測定が可能なレーザー干渉式測定装置
最高精度のフレキシブルな長さ測定システム
ビーム方向検出機能を内蔵しているため、取り扱いと調整が容易です。
反射鏡は、三面鏡、球面鏡、平面鏡反射鏡など、さまざまなものを使用することができます。
測定用リフレクターの許容傾斜角は±22.5°まで。
コンパクトで堅牢なデザイン
防滴仕様のセンサーハウジング
センサーヘッドのデザインは、アルミニウム、ステンレススチール、インバー合金から選択可能です。
政府基準へのトレーサビリティ
OEM版、OEMソフト、真空版も可
オプションのインターフェイスで応用範囲が広がる
豊富なトリガーオプション
ガイド、測定ステージ、顕微鏡、位置決めステージ、三次元測定機、工作機械での長さ測定や校正、また複数座標の測定には、高精度で信頼できる結果が不可欠です。ユニバーサルレーザー干渉計SP 5000 NGは、高精度な長さ測定のためのソリューションであり、新しい測定プロジェクトのために、製品ファミリーのコンポーネントを追加していつでも完成させることができます。
コンパクトなSP 5000 NG干渉計は、取り扱いが簡単で、迅速かつシンプルな調整が特徴です。さまざまな環境や使用条件下で、高精度の測定結果を得ることができます。内蔵センサーによる干渉計のアライメントは、簡単、迅速、かつ非常に正確です。その結果、センサーの不適切なアライメントによるエラーを回避することができます。この高精度干渉計は、真空バージョンもあります。
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