高精度長さ測定用レーザー干渉計システム
- 最高精度のフレキシブルな長さ測定システム
- 統合されたビーム方向検出により、取り扱いと調整が容易
- トリプルミラー、球面ミラー、平面ミラー反射鏡など、様々な光学反射鏡を使用可能
- 測定用反射鏡は最大±22.5°まで傾斜可能
- コンパクトで堅牢な設計
- センサーハウジングは防滴構造
- アルミ、ステンレス、インバー製センサーヘッドの設計(オプション
- 政府規格へのトレーサビリティ
- OEMバージョン、OEMソフトウェア、真空バージョンが可能
- オプションのインターフェースによるアプリケーションの拡大
- 豊富なトリガーオプション
ガイド、測定ステージ、顕微鏡、位置決めステージ、三次元測定機、工作機械での長さ測定や校正、またマルチ座標測定には、高精度で信頼性の高い結果が不可欠です。ユニバーサルレーザー干渉計 SP 5000 NG は、高精度長さ測定のためのソリューションです。
コンパクトなSP 5000 NG干渉計は、取り扱いが簡単で、迅速かつシンプルな調整が特徴です。さまざまな環境や動作条件において、高精度の測定結果を提供します。内蔵センサーによる干渉計のアライメントは、簡単、迅速、かつ非常に正確です。その結果、誤ったセンサーのアライメントによるエラーを回避することができます。この高精度干渉計は、真空仕様もご用意しています。
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