コンパクト干渉計

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光学式干渉計
光学式干渉計
Verifire™ XL

大口径で設置面積の小さいVerifire XLは、直径300mmまでの平面光学部品を簡単にテストできる、干渉計ワークステーションです。 この完全統合型のシステムは、カスタム治具が不要で、繰り返し測定可能な部品配置を提供する使いやすい頑丈なチップ/チルトステージを備えています。 コンパクトな設置面積に除振装置とコントローラモニタースタンドを組み込むことで、必要なスペースを最低限に抑えます。

光学式干渉計
光学式干渉計
Verifire VTS

効率的な光学部品測定のための干渉計ワークステーション Verifire™ MSTレーザー干渉計ワークステーションZYGOのVerifire VTSは、用途に合わせて設計された球面測定用干渉計ワークステーションです。 垂直上向きのワークステーションはテスト部品を所定の位置に保持することで、高速ピックアンドプレース測定を可能にします。 内蔵型のパッシブ除振システムと石定盤のベースが、生産環境でも最高のパフォーマンスを実現できる測定用プラットフォームを提供します。 ...

変位測定用干渉計
変位測定用干渉計
ZMI™ Series

ZYGOの干渉計構成は、さまざまな測定シナリオに対応可能です。標準品以外に、用途に合わせたカスタマイズ干渉計の設計が可能です。単軸から複数軸、真空中での使用についても対応します。

レーザー干渉計
レーザー干渉計
XD Laser

... 数々の賞を受賞したXD Laserは、直線、角度、真直度、ロールエラーなど6つの自由度を同時に測定する多次元レーザー計測システムで、工作機械のエラー評価を迅速に行うことができます。 詳細はウェブサイトをご覧ください。 ...

レーザー干渉計
レーザー干渉計
SP 5000 NG

... 高精度な長さ測定が可能なレーザー干渉式測定装置 高精度な長さ測定が可能なフレキシブルな長さ測定システム ビーム方向検出機能を内蔵しているため、取り扱いが容易で調整も容易 三面鏡、球面鏡、平面鏡など、さまざまな光反射板を使用可能 測定用リフレクターは、最大±22.5°まで傾けることができます。 コンパクトで堅牢な設計 防滴仕様のセンサーハウジング センサーヘッドのデザインは、アルミニウム、ステンレススチール、インバー合金から選択できます。 政府規格へのトレーサビリティ OEMバージョン、OEMソフトウェア、バキュームバージョンが可能 オプションのインターフェースにより、アプリケーションの幅が広がる 豊富なトリガーオプション ガイド、測定ステージ、顕微鏡、位置決めステージ、三次元測定機、工作機械での長さ測定や校正、また多点測定には、高精度で信頼できる結果が不可欠です。ユニバーサルレーザー干渉計 ...

OEM用途用干渉計
OEM用途用干渉計
SP 5000 DI/F

... 超安定小型差動レーザー干渉計 高精度な長さ・角度の微分計測 差動測定による環境影響の最小化 熱的に超安定なセンサー設計、温度感度 < 10 nm/K 球面反射鏡、平面反射鏡など、さまざまな光反射鏡が使用可能 測定用反射鏡の大きな傾き不変性 コンパクトで堅牢な設計 ステンレス製センサーヘッドを標準装備 ビーム距離:14 mm OEMバージョン、OEMソフトウェア、真空バージョンも可能 オプションのインターフェースにより、フィードバックシステムとして使用可能 豊富なトリガーオプション 超安定でコンパクトなSP ...

校正干渉計
校正干渉計
SP 15000 C series

... 位置決め軸の長さ、ピッチ角、ヨー角、真直度を高精度に同時測定・校正するレーザー干渉計です。 最高精度のフレキシブルな長さ測定システム 長距離での高精度な長さ測定 長さ、ピッチ角、ヨー角、真直度の5自由度を同期して連続測定可能 ビーム方向検出機能を搭載しているため、取り扱いと調整が容易 測定用リフレクターの大きな傾き不変性 ビーム距離50 mm 光学系の旋回により、水平・垂直方向の真直度成分を測定可能 豊富なトリガーオプション WindowsおよびLinuxのOEMソフトウェア用のオープンインターフェース 現在有効な規格に準拠したキャリブレーションソフトウェア 機械軸のガイド特性を高精度にダイナミックに取得し、それに続く規格に準拠したキャリブレーションは、非常に手間と時間のかかるプロセスであり、最終的に高い位置決め精度を実現することになります。 SP ...

レーザー干渉計
レーザー干渉計
AccuFiz 6MP

フィゾー干渉計
フィゾー干渉計
OWI series

... OWI Desktop 60 mm ハイライト レンズ用非接触測定システム 頑丈振動クッション設計 コンパクトなテーブルトップユニット マイクロメータスクリュースト 付き3軸微調整ステージ当社のハイクラスの干渉計モジュールOptoTech InspectミニEL-Fデジタル オプション:精密ゲージによる統合された半径測定; 静的なフリンジ解析ソフトウェア(フリンジOWI)または位相シフトフリンジ解析ソフトウェア(OptoTech µShape OWI); 空気圧圧圧延カート OWI ...

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OptoTech
白色光干渉計
白色光干渉計
interferoMETER

マイクロエプシロンの革新的な白色光干渉計は、高精度な距離・厚さ測定におけるベンチマークを打ち立てています。このセンサはサブナノメートルの分解能で安定した測定結果をもたらし、比較的広い測定範囲と長いオフセット距離を提供しています。現在ご提供している干渉計は、高精度な工業用距離測定のためのIMS5400-DS、正確な厚さ測定のためのIMS5400-TH、ピコメートル分解能の距離測定に対応した真空環境に適したIMS5600-DSの3種類です。 特徴 • - ナノメートル精度の絶対距離測定 • ...

サブナノメーター変位測定用干渉計
サブナノメーター変位測定用干渉計
MarSurf WI 50 M

サブナノメートル領域での精密測定を、新しいMarSurfWI 50 Mで簡単に。直感的なソフトウェアのユーザーガイドと非常に使いやすいデザインで、ラボや品質管理での日常的な使用に最適な3D測定器です。 新しいWI 50 Mは、ナノメートル領域での測定タスクのすべての要件を満たし、最高のパフォーマンスと素晴らしいコストパフォーマンスを提供します。必要最小限を満たすアプローチ、コンパクトなデザイン、広い設置スペースなど、「最適なエントリーレベルのソリューション」という評判にふさわしいツールです。 ...

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MAHR/マール
光学式干渉計
光学式干渉計
PicoMove

... ティームフォトニクスは、ピコメータスケールの変位や振動を測定するための、コンパクトで安定した高性能な干渉計を新たに開発し、提供しています。 ティームフォトニクスの PicoMove 干渉計は、高安定性アーキテクチャのシングルチップ集積をベースにしており、超低ノイズでの計測を実現します。 目に安全な1.55µmの動作波長は、市販のテレコム光源との互換性を提供します。 また、光ビームのアライメントを容易にするため、可視光波長にも対応したセンサー設計となっています。ティームでは、低熱膨張材料や超高真空環境用のパッケージングオプションを提案しています。測定システムの電気部分(レーザー光源、ディテクタ)は、信頼性の高いファイバーピグテーリングにより遠隔操作されます。 ...

コンパクト干渉計
コンパクト干渉計
SLI 202, ALI 202

... 情報 コンパクトなワークショップ干渉計は、生産現場への設置を可能にし、光学系への即時アクセスを提供し、生産性を向上させます。 垂直振動絶縁設計では、最低限の床面積が必要です。 フルハウジングは、理想的でない環境でも機器を保護します。 フリンジパターンのライブモニター表示により、アラインメントが簡単になります。 位相測定機能により、正確な波形フロントマップが作成され、ユーザーフレンドリーな解析ソフトウェアでさらに調査できます。 オプションの高精度距離測定装置により、レンズの正確な位置決めが可能です。 ...

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