- 検出・測定 >
- 光学測定器・音響測定器 >
- 白色光干渉計
白色光干渉計
{{product.productLabel}} {{product.model}}
{{#if product.featureValues}}{{product.productPrice.formattedPrice}} {{#if product.productPrice.priceType === "PRICE_RANGE" }} - {{product.productPrice.formattedPriceMax}} {{/if}}
{{#each product.specData:i}}
{{name}}: {{value}}
{{#i!=(product.specData.length-1)}}
{{/end}}
{{/each}}
{{{product.idpText}}}
{{product.productLabel}} {{product.model}}
{{#if product.featureValues}}{{product.productPrice.formattedPrice}} {{#if product.productPrice.priceType === "PRICE_RANGE" }} - {{product.productPrice.formattedPriceMax}} {{/if}}
{{#each product.specData:i}}
{{name}}: {{value}}
{{#i!=(product.specData.length-1)}}
{{/end}}
{{/each}}
{{{product.idpText}}}
... 新しい白色光干渉計 IMS5600-DSは、最高精度で距離測定を行うために使用されます。コントローラにはインテリジェントな評価による特殊調整機能が搭載されており、サブナノメートルの分解能で絶対測定を行うことができます。この干渉計は、電子機器や半導体の生産といった最高の精度要件が求められる測定タスクに使用します。 特徴 • - サブナノメートル精度の距離測定 • - クラス最高:分解能 < 30ピコメートル • - 段付きプロファイルなどの測定に最適な絶対測定 • - オフセット距離が長く、コンパクトで堅固なセンサ • ...
MICRO-EPSILON
... サブミクロン精度で信頼性の高い厚さ測定を実現する白色光干渉計 新しいIMS5200-TH白色光干渉計は、高速で信頼性の高い厚さ測定に新たな可能性を開きます。コントローラーはインテリジェントな評価を特徴とし、1 µmの薄さの透明層の正確な厚さ測定を可能にします。最大24 kHzの高速測定により、IMS5200モデルは工業用途に最適です。ナノメートル精度で1 µmの薄い層まで測定できます。 ...
MICRO-EPSILON
... 概要
interferoMETER IMS5400-DSは、産業用途向けの絶対距離・変位測定用白色光干渉計です。本機はナノメートル分解能の絶対測定と比較的大きなオフセット距離を組み合わせ、透明物や多層構造に対するマルチピーク評価をサポートします。
特徴
- ナノメートル精度の絶対距離測定(段差プロファイルの検査に適合)
- 透明物に対するマルチピーク距離測定(MPモデルで最大14値同時評価)
- コンパクトで堅牢なセンサ、90°ビームパスのバリエーションあり
- 最大6
MICRO-EPSILON
... サブミクロン精度で安定した厚さ測定を実現する白色光干渉計 新しいIMS5400-TH白色光干渉計は、工業用厚さ測定に新たな展望を開きます。コントローラにはインテリジェントな評価機能が搭載されており、透明な対象物の厚み測定を最高の精度で行うことができます。 ...
MICRO-EPSILON
... IMS5420-TH白色光干渉計は、単結晶シリコンウェーハの工業用膜厚測定に新たな展望を開きます。広帯域のスーパールミネッセントダイオード(SLED)を搭載しているため、IMS5420-THは、アンドープ、ドープ、高ドープのSIウェハーに使用できます。厚さ測定範囲は0.05~1.05 mmです。エアギャップの測定可能厚さは最大4 mmです。 半導体製造では、最高の精度が不可欠です。重要な工程はブランクのラッピングで、これによってブランクは均一な厚さになります。この厚みを連続的に制御するために、干渉計 ...
MICRO-EPSILON
... この大型アーム干渉計は、教室でのデモンストレーションに使用される干渉計に代わる、費用対効果の高い干渉計です。レーザー光でも白色光でも同じように動作するこの高架式干渉計は、プログラムの主要な実験をすべて実施することができる。また、ミラーとビームスプリッターの間にスペースがあるため、他のタイプの干渉計では困難な実験や測定も可能です。 ...
OVIO INSTRUMENTS
... 体験しやすい広いスペース この大型アーム干渉計は、教室で使用するデモ用干渉計に代わる経済的な装置です。レーザー光でも白色光でも同じように動作するこの干渉計は、プログラムの主要な実験をすべて行うことができます。また、ミラーとビームスプリッターの間にスペースがあるため、他のタイプの干渉計では難しい実験や測定も可能です。 ...
OVIO INSTRUMENTS
... 分散偏光クロストーク(X-Talk)アナライザ(PXA-1000)は、偏光維持(PM)ファイバーの長さに沿って応力誘起偏光クロスカップリングを分析することにより、空間分解応力情報を得るために設計された白色光干渉計の拡張バージョンです。 特許出願中の光学設計は、強力なゼロ次干渉を排除し、従来の白色光干渉計に共通するマルチカップリング干渉を低減します。どちらも測定信号にゴーストピークを引き起こす可能性があります。 ゴーストピークを除去することで、PXA-1000は実際のX-トークピークの大きさと位置を明確に識別できるため、従来の白色干渉計よりも高い測定感度、高いダイナミックレンジ、高い空間測定精度が得られます。 ...