距離測定用干渉計 interferoMETER 5400-DS

光学式コンパクト白色光

概要
interferoMETER IMS5400-DSは、産業用途向けの絶対距離・変位測定用白色光干渉計です。本機はナノメートル分解能の絶対測定と比較的大きなオフセット距離を組み合わせ、透明物や多層構造に対するマルチピーク評価をサポートします。

特徴

• ナノメートル精度の絶対距離測定（段差プロファイルの検査に適合）
• 透明物に対するマルチピーク距離測定（MPモデルで最大14値同時評価）
• コンパクトで堅牢なセンサ、90°ビームパスのバリエーションあり
• 最大6 kHzの高測定速度で高速プロセスに対応
• パッシブ冷却を備えた堅牢なコントローラ、DINレール取付対応
• ウェブインターフェースによる簡単設定（ソフト不要）
• センサ/コントローラ分離用に光ファイバケーブル最大10 m対応
• 多様なインターフェースを備えた柔軟な産業統合

機能／性能
IMS5400-DSはナノメートル分解能で絶対距離を測定し、マルチピーク評価により透明層間の複数反射面を同時に検出できます。高いサンプリングレート（最大6 kHz）と小さなスポット径（約10 µm）により、可動体の段差や微細構造の安定した測定が可能です。コントローラはパッシブ冷却とアクティブ温度補償により測定安定性を確保し、Webインターフェースで迅速に立ち上げ・パラメータ設定が行えます。

仕様（主な技術仕様）

• 測定原理：白色光干渉（絶対距離測定）
• 分解能／精度：ナノメートルオーダーの絶対測定；代表的な直線性 ±50 nm（機種により異なる）
• マルチピーク機能：最大13～14の同時距離値（機種依存）
• 測定速度：最大6 kHz
• 光スポット径：約10 µm（典型）
• オフセット距離：コンパクトセンサで比較的大きな設計；90°ビームパスモデルあり
• コントローラ：金属筐体、パッシブ冷却、DINレール対応；インテリジェントな評価機能
• 設定：Webインターフェース（クライアントソフト不要）
• インターフェース：Ethernet、EtherCAT、RS422、アナログ出力、同期入力、デジタルI/O、エンコーダ入力；オプションでPROFINET／EtherNet/IP対応モジュール
• センサ—コントローラ間：光ファイバケーブル最大10 m
• 代表的用途：高精度な距離・変位測定、段差プロファイル制御、ガラス厚さ測定、ラインインテグレーション、クリーンルーム／真空環境（VAC／UHVモデルあり）