サブナノメーター変位測定用干渉計 interferoMETER 5600-DS

距離測定用光学式白色光

新しい白色光干渉計 IMS5600-DSは、最高精度で距離測定を行うために使用されます。コントローラにはインテリジェントな評価による特殊調整機能が搭載されており、サブナノメートルの分解能で絶対測定を行うことができます。この干渉計は、電子機器や半導体の生産といった最高の精度要件が求められる測定タスクに使用します。 特徴 • - サブナノメートル精度の距離測定 • - クラス最高：分解能 < 30ピコメートル • - 段付きプロファイルなどの測定に最適な絶対測定 • - オフセット距離が長く、コンパクトで堅固なセンサ • - 高速測定に対応した最大6 kHzの測定レート • - Webインターフェースを介した容易な設定 • - 真空環境に適したセンサとケーブル