高解像度干渉計

Verifire™ 干渉計システムは、光学部品、システム、およびアセンブリの表面形状誤差と透過波面の高速で信頼性の高い測定を提供します。 真のレーザーフィゾー設計であるVerifire™システムは、表面形状測定におけるZYGOの比類なき経験を継承しています。ZYGOが製造したHeNeレーザー光源と、ZYGOの特許取得済みのアルゴリズム、フル機能のMx™測定ソフトウェアを組み合わせることで、使いやすい解析機能を備えた高精度の測定装置を実現します。 製造現場での信頼性の高い測定 この数年間で、光学測定技術は飛躍的に進歩しました。 ...

... 非球面光学系は、防衛・航空宇宙、半導体露光・検査装置、医療用画像システムなどの産業で使用されるイメージング、センシング、レーザーシステムの設計と実装に大きな利点をもたらします。 これらのアプリケーションをサポートする非球面の製造は、精密な計測に依存しています。 結局のところ、非球面光学部品に関して言えば、測定できないものは作れないのです。 Verifire Asphere+ (VFA+) は、フィゾー干渉計の利点を活かし、軸対称非球面に対して、高精度、高解像度、高速、フルアパーチャーのユニークな組み合わせの計測を提供します。 VFA+は、透過球を交換するだけで、様々な軸対称非球面を測定できる柔軟な測定プラットフォームを提供します。また、オプションのセカンダリーステージは、非対称自由曲面や軸外し非球面光学系に対応したコンピュータ生成ホログラム（CGH）をサポートし、非球面形状測定機能を拡張することができます。 NEW!ユーザーエクスペリエンスの向上に重点を置き、新しい測定のセットアップ、測定データと結果のナビゲート、生産上の問題の診断が簡単に行えるようになりました。Mx™ ...

ZYGOの水平軸ビームエキスパンダーは、4インチの干渉計の通常の開口部寸法を12インチ、18インチ、24インチ、さらには32インチまで拡大し、大型光学部品と光学系の検証における高精度の干渉計測を実現します。 水平大型開口装置は、2つの独立した計測チャンネルを確保する独自の機能を提供します。1つはネイティブの4インチ干渉計開口、もう1つは最大32インチの拡張ビームで、1つの装置に2つの干渉計の柔軟性を与えます。 適切なアクセサリを使用して構成することにより、大型開口装置を使用して、表面形状と透過波面の質の両方を測定できます。

... 長さ、ピッチ、ヨー角を同時に高精度に測定するトリプルビームレーザー干渉測定システム - 最高精度のフレキシブルな測長システム - 統合されたビーム方向検出により、取り扱いと調整が容易 - 球面反射鏡、平面反射鏡など、さまざまな光学反射鏡を使用可能 - 最大±12.5°までの測定リフレクターの傾斜が可能 - コンパクト設計 - センサーヘッドはアルミニウム、ステンレス、インバー製から選択可能 - ビーム距離：12 mm - OEMバージョン、OEMソフトウェア、真空バージョンが可能 - ...

... 高精度長さ測定用レーザー干渉計システム - 最高精度のフレキシブルな長さ測定システム - 統合されたビーム方向検出により、取り扱いと調整が容易 - トリプルミラー、球面ミラー、平面ミラー反射鏡など、様々な光学反射鏡を使用可能 - 測定用反射鏡は最大±22.5°まで傾斜可能 - コンパクトで堅牢な設計 - センサーハウジングは防滴構造 - アルミ、ステンレス、インバー製センサーヘッドの設計（オプション - 政府規格へのトレーサビリティ - OEMバージョン、OEMソフトウェア、真空バージョンが可能 - ...

... 2本の平行な測定ビームによる高安定な差動レーザー干渉計 - 最高精度の長さまたは角度の差分測定 - ディファレンシャル測定による環境影響の最小化 - 熱的に長期間安定したセンサー、温度感度 < 20 nm/K - 球面反射鏡、平面ミラー反射鏡など、様々な光学反射鏡を使用可能 - 測定リフレクターの大きな傾斜不変性 - ステンレス製センサーヘッドを標準装備 - ビーム距離：21 mm - 豊富なトリガーオプション - WindowsおよびLinuxのOEMソフトウェア用のオープンインターフェース 当社の超安定差動レーザー干渉計 ...

... 測定ステーション干渉計VI-direct 28 SULは、球面の形状や半径偏差を迅速に検査することができます。オプションのINTOMATIK-Sソフトウェアは、インターフェログラムの評価に使用できます。 - USB 3ポート経由でVideo-Mini-PCに直接接続可能 - 高解像度デジタルカメラ（3088x2076ピクセル） - 短い露光時間による振動の影響を受けにくい - 半径測定用表示ユニット - アパーチャストップセット - XY変換によるサンプルサポート ...

... 平面干渉計VI-direct 50 PULは、コーティングされていない平面とミラーコーティングされた平面の高速検査を可能にします。特殊なレイアウトにより、試料を挿入した後、オプションのINTOMATIK-Sソフトウェアで干渉図を直接評価することができます。再調整の必要はありません。 - USB 3ポート経由でVideo-Mini-PCに直接接続 - 高解像度デジタルカメラ（3088x2076ピクセル） - 露光時間が短いため、振動の影響を受けにくい - ...

... PHOENIX GBSARは、イメージング、干渉計、変化検出機能を備えた地上型合成開口レーダー（SAR）です。 主な用途 PHOENIX GBSARはインターフェロメトリック技術(InSAR)を利用し、0.1mmまでの地表の変形を測定します。主なアプリケーションは、地滑り、地盤沈下、落石、氷河、雪崩、火山などの地盤変形モニタリング、橋、建物、タワー、ダム、テーリング、道路などのエンジニアリング構造物の構造ヘルスモニタリング（SHM）です。 最高のユーザーエクスペリエンス PHOENIX ...

... ティームフォトニクスは、ピコメータスケールの変位や振動を測定するための、コンパクトで安定した高性能な干渉計を新たに開発し、提供しています。 ティームフォトニクスの PicoMove 干渉計は、高安定性アーキテクチャのシングルチップ集積をベースにしており、超低ノイズでの計測を実現します。 目に安全な1.55µmの動作波長は、市販のテレコム光源との互換性を提供します。 また、光ビームのアライメントを容易にするため、可視光波長にも対応したセンサー設計となっています。ティームでは、低熱膨張材料や超高真空環境用のパッケージングオプションを提案しています。測定システムの電気部分（レーザー光源、ディテクタ）は、信頼性の高いファイバーピグテーリングにより遠隔操作されます。 ...

... HPI-3Dリニアレーザー計測システムは、迅速で簡単なインストールとダイナミックな3DOF計測を一度に行うことができるレーザー干渉計です。HPI-3Dは、非常に高速で測定を行い、高い精度で結果を返します。この装置は、高精度レーザー干渉計分野における20年以上の経験の賜物です。この干渉計は、レーザー測定の分野における「ノウハウ」と最高のパラメーターを象徴しています。また、最高の品質、豊富なアクセサリーとオプション、使いやすさとコンパクトさも兼ね備えています。 もう測定に限界はありません！リニア計測システムHPI-3Dは、最新のレーザーシステムのパラメータを最適化します。非常に高速な移動速度、超高分解能、高サンプルレートにより、非常に要求の厳しいアプリケーションにも適しています。 万能な測定器は存在しませんが、HPI-3Dはそれに近づきます。HPI-3Dは、長い距離（数十m）、非常に短い距離（数百ピコm）、機械の形状を計測し、非常に速い動きや非常に遅い動きを検出することができます。振動の監視、角度の測定、距離の比較など、様々なことが可能です。このレーザー装置は、科学研究所、機械産業の作業場、屋外などで使用できる。コンピューター、タブレット、スマートフォンで制御できるだけでなく、ユーザーは様々な方法で機能を変更することができる。 ...