高解像度干渉計

Verifire™ 干渉計システムは、光学部品、システム、およびアセンブリの表面形状誤差と透過波面の高速で信頼性の高い測定を提供します。 真のレーザーフィゾー設計であるVerifire™システムは、表面形状測定におけるZYGOの比類なき経験を継承しています。ZYGOが製造したHeNeレーザー光源と、ZYGOの特許取得済みのアルゴリズム、フル機能のMx™測定ソフトウェアを組み合わせることで、使いやすい解析機能を備えた高精度の測定装置を実現します。 製造現場での信頼性の高い測定 この数年間で、光学測定技術は飛躍的に進歩しました。 ...

... 非球面光学系は、防衛・航空宇宙、半導体露光・検査装置、医療用画像システムなどの産業で使用されるイメージング、センシング、レーザーシステムの設計と実装に大きな利点をもたらします。 これらのアプリケーションをサポートする非球面の製造は、精密な計測に依存しています。 結局のところ、非球面光学部品に関して言えば、測定できないものは作れないのです。 Verifire Asphere+ (VFA+) は、フィゾー干渉計の利点を活かし、軸対称非球面に対して、高精度、高解像度、高速、フルアパーチャーのユニークな組み合わせの計測を提供します。 VFA+は、透過球を交換するだけで、様々な軸対称非球面を測定できる柔軟な測定プラットフォームを提供します。また、オプションのセカンダリーステージは、非対称自由曲面や軸外し非球面光学系に対応したコンピュータ生成ホログラム（CGH）をサポートし、非球面形状測定機能を拡張することができます。 NEW!ユーザーエクスペリエンスの向上に重点を置き、新しい測定のセットアップ、測定データと結果のナビゲート、生産上の問題の診断が簡単に行えるようになりました。Mx™ ...

ZYGOの水平軸ビームエキスパンダーは、4インチの干渉計の通常の開口部寸法を12インチ、18インチ、24インチ、さらには32インチまで拡大し、大型光学部品と光学系の検証における高精度の干渉計測を実現します。 水平大型開口装置は、2つの独立した計測チャンネルを確保する独自の機能を提供します。1つはネイティブの4インチ干渉計開口、もう1つは最大32インチの拡張ビームで、1つの装置に2つの干渉計の柔軟性を与えます。 適切なアクセサリを使用して構成することにより、大型開口装置を使用して、表面形状と透過波面の質の両方を測定できます。

ZYGOの干渉計構成は、さまざまな測定シナリオに対応可能です。標準品以外に、用途に合わせたカスタマイズ干渉計の設計が可能です。単軸から複数軸、真空中での使用についても対応します。

... 長さ、ピッチ、ヨー角を同時に高精度に測定するトリプルビームレーザー干渉計測定システム。 最高精度のフレキシブルな長さ測定システム ビーム方向検出機能を搭載しているため、取り扱いと調整が容易。 球面反射鏡、平面反射鏡など、さまざまな光学反射鏡が使用可能です。 測定用リフレクターは最大±12.5°まで傾けることができる。 コンパクトな設計 センサーヘッドをアルミニウム、ステンレス、インバー合金で設計。 ビーム距離：12 mm OEMバージョン、OEMソフトウェア、バキュームバージョンが可能 オプションの調整可能な偏向ミラーでビームを偏向可能 オプションのインターフェイスにより、アプリケーションの幅が広がる 豊富なトリガーオプション 現在有効な規格に準拠したキャリブレーションソフトウェア 産業界や研究分野では、高精度な変位・角度同時計測が求められることが多くあります。トリプルリフレクターユニットが固定されたキャリッジの移動中に、長さ測定だけでなくピッチ角とヨー角を同時に取得することで、運動軸を迅速かつ高精度に評価することが可能になります。特に、高速で簡単なセンサー調整が重要です。 SP ...

... 高精度な長さ測定が可能なレーザー干渉式測定装置 高精度な長さ測定が可能なフレキシブルな長さ測定システム ビーム方向検出機能を内蔵しているため、取り扱いが容易で調整も容易 三面鏡、球面鏡、平面鏡など、さまざまな光反射板を使用可能 測定用リフレクターは、最大±22.5°まで傾けることができます。 コンパクトで堅牢な設計 防滴仕様のセンサーハウジング センサーヘッドのデザインは、アルミニウム、ステンレススチール、インバー合金から選択できます。 政府規格へのトレーサビリティ OEMバージョン、OEMソフトウェア、バキュームバージョンが可能 オプションのインターフェースにより、アプリケーションの幅が広がる 豊富なトリガーオプション ガイド、測定ステージ、顕微鏡、位置決めステージ、三次元測定機、工作機械での長さ測定や校正、また多点測定には、高精度で信頼できる結果が不可欠です。ユニバーサルレーザー干渉計 ...

... 2本の平行な測定ビームを持つ高安定な差動レーザー干渉計。 高精度な長さ・角度の差分測定 差動測定による環境影響の最小化 熱的に長期間安定したセンサー、温度感度 < 20 nm/K 様々な光反射板を使用することができる 測定用リフレクターの大きな傾き不変性 ステンレス製のセンサーヘッドを標準装備 ビーム距離：21 mm 豊富なトリガーオプション WindowsおよびLinuxのOEMソフトウェア用のオープンインターフェース 超安定型差動レーザー干渉計 ...

... ティームフォトニクスは、ピコメータスケールの変位や振動を測定するための、コンパクトで安定した高性能な干渉計を新たに開発し、提供しています。 ティームフォトニクスの PicoMove 干渉計は、高安定性アーキテクチャのシングルチップ集積をベースにしており、超低ノイズでの計測を実現します。 目に安全な1.55µmの動作波長は、市販のテレコム光源との互換性を提供します。 また、光ビームのアライメントを容易にするため、可視光波長にも対応したセンサー設計となっています。ティームでは、低熱膨張材料や超高真空環境用のパッケージングオプションを提案しています。測定システムの電気部分（レーザー光源、ディテクタ）は、信頼性の高いファイバーピグテーリングにより遠隔操作されます。 ...