OEM用途用干渉計 SP 5000 DI/DS

変位測定用測長用光学式

製品説明
SP 5000 DI/DSは、差動干渉計の原理と多線干渉計を組み合わせ、長さと角度（チルト）の同時かつ高い安定性を持つ測定を実現します。この構成により、広い領域での極微小な変位やわずかな傾きを検出し、熱的・環境的影響の感度を低減します。

主な特長

• 四光束レーザー干渉方式の変位・角度差分測定システム
• 差動による安定した長さおよびピッチ（角度）測定
• XYステージや平面鏡への組み込みを想定した設計
• ビーム間隔：15 mm（長さ測定）、6 mm（角度測定）
• 温度感度が極めて低い < 20 nm / K
• OEM版および真空版は要望により対応

用途と使用方法
本干渉計は平面鏡への取り付けや組み込み型測定システムとして使用することを想定しており、リフレクタを用いた運用も可能です。ビーム経路に組み込まれた超安定光学部品によりアライメントを行い、再現性のある長期安定な測定を実現します。

適用分野

• 高精度測定系におけるアッベ誤差を補償するための長さと角度の同時計測
• 二つのセンサーヘッドを用いたX‑Yテーブルの位置制御
• 長期安定な長さ・角度測定、最高分解能の測定

最適用途

• 長期監視および校正作業
• 高精度システムへのOEM組み込み
• 高い安定性と分解能が要求される用途

仕様

• 測定範囲（長さ）：0 m ～ ≥ 2 m
• 長さ分解能：5 pm
• 長さ測定不確かさ：0.15 µm/m
• 最大チルト角（平面鏡使用時）：±430 µrad
• 角度分解能：0.02 µrad
• ビーム間隔：15 mm（長さ）、6 mm（角度）
• 温度感度：< 20 nm / K
• 測定原理：長さと角度の同時計測を可能にする差動干渉計と多線干渉計の組み合わせ
• バリエーション：標準、OEM版、真空版（要問い合わせ）