位置決め軸の長さ、ピッチ角、ヨー角、真直度を高精度に同時測定・校正するレーザー干渉計です。
最高精度のフレキシブルな長さ測定システム
長距離の長さを高精度に測定
長さ、ピッチ角、ヨー角、真直度の5自由度を同期して連続計測
ビーム方向検出機能を内蔵しているため、取り扱いと調整が容易です。
測定用リフレクターの大きな傾き不変性
ビームディスタンス50 mm
旋回光学系で測定可能な水平・垂直方向の真直度成分
豊富なトリガーオプション
WindowsおよびLinuxのOEMソフトウェアのためのオープンインターフェース
現在有効な規格に準拠したキャリブレーションソフトウェア
機械軸のガイド特性を高精度に動的に取得し、規格に準拠した校正を行うことは、非常に手間と時間のかかる作業であり、最終的に高い位置決め精度を実現することになります。
SP 15000 C5校正用レーザー干渉計は、機械・装置メーカーの高い要求を満たすために特別に開発されました。長さ、ピッチ角、ヨー角、X-Y-アライメントの真直度など、すべての測定値をレーザー干渉計で高精度に記録し、3つの長さ測定チャンネルすべてで同じ安定したレーザー周波数が使用されます。これにより、同期した連続5自由度測定が可能になります。また、オプションのソフトウェアを使用することで、完全な機械検査や体積補正を行うことができます。
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