測長用干渉計

平行平板測定をよりシンプルに。表面が複数ある測定は、複雑な干渉縞が生じます。Verifire™ MSTは、特許取得済みの波長シフト技術を使用して、複数の表面から位相データを同時に取得します。 平行板ガラスの各表面、透過波面からの主な指標の他、全体の厚みのムラ (TTV)、ウェッジ、材料の不均一性などの正確な表面間情報を測定します。 Verifire™ MSTは、モバイルデバイスのディスプレイガラス、データストレージディスク、半導体ウェーハなどの要求の厳しいアプリケーションに対応し、0.5mmの薄いテスト部品の表面と厚みムラを正確に測定します。

... 数々の賞を受賞したXD Laserは、直線、角度、真直度、ロールエラーなど6つの自由度を同時に測定する多次元レーザー計測システムで、工作機械のエラー評価を迅速に行うことができます。 詳細はウェブサイトをご覧ください。 ...

... 長さ、ピッチ、ヨー角を同時に高精度に測定するトリプルビームレーザー干渉計測定システム。 最高精度のフレキシブルな長さ測定システム ビーム方向検出機能を搭載しているため、取り扱いと調整が容易。 球面反射鏡、平面反射鏡など、さまざまな光学反射鏡が使用可能です。 測定用リフレクターは最大±12.5°まで傾けることができる。 コンパクトな設計 センサーヘッドをアルミニウム、ステンレス、インバー合金で設計。 ビーム距離：12 mm OEMバージョン、OEMソフトウェア、バキュームバージョンが可能 オプションの調整可能な偏向ミラーでビームを偏向可能 オプションのインターフェイスにより、アプリケーションの幅が広がる 豊富なトリガーオプション 現在有効な規格に準拠したキャリブレーションソフトウェア 産業界や研究分野では、高精度な変位・角度同時計測が求められることが多くあります。トリプルリフレクターユニットが固定されたキャリッジの移動中に、長さ測定だけでなくピッチ角とヨー角を同時に取得することで、運動軸を迅速かつ高精度に評価することが可能になります。特に、高速で簡単なセンサー調整が重要です。 SP ...

... 高精度な長さ測定が可能なレーザー干渉式測定装置 高精度な長さ測定が可能なフレキシブルな長さ測定システム ビーム方向検出機能を内蔵しているため、取り扱いが容易で調整も容易 三面鏡、球面鏡、平面鏡など、さまざまな光反射板を使用可能 測定用リフレクターは、最大±22.5°まで傾けることができます。 コンパクトで堅牢な設計 防滴仕様のセンサーハウジング センサーヘッドのデザインは、アルミニウム、ステンレススチール、インバー合金から選択できます。 政府規格へのトレーサビリティ OEMバージョン、OEMソフトウェア、バキュームバージョンが可能 オプションのインターフェースにより、アプリケーションの幅が広がる 豊富なトリガーオプション ガイド、測定ステージ、顕微鏡、位置決めステージ、三次元測定機、工作機械での長さ測定や校正、また多点測定には、高精度で信頼できる結果が不可欠です。ユニバーサルレーザー干渉計 ...

... 2本の平行な測定ビームを持つ高安定な差動レーザー干渉計。 高精度な長さ・角度の差分測定 差動測定による環境影響の最小化 熱的に長期間安定したセンサー、温度感度 < 20 nm/K 様々な光反射板を使用することができる 測定用リフレクターの大きな傾き不変性 ステンレス製のセンサーヘッドを標準装備 ビーム距離：21 mm 豊富なトリガーオプション WindowsおよびLinuxのOEMソフトウェア用のオープンインターフェース 超安定型差動レーザー干渉計 ...

... 長距離の長さを高精度に測定するレーザー干渉計システム - 高精度の長さ測定が可能なフレキシブルな長さ測定システム - 長距離の長さを高精度に測定 - 簡単な調整と操作 - 最大80mまでの測定範囲を実現 - コンパクトな設計 - 豊富なトリガーオプション - WindowsおよびLinuxのOEMソフトウェア用のオープンインターフェース SP 15000 NG ロングレンジレーザー干渉計は、長距離の長さ測定用に特別に設計されたもので、SP 5000 NG 製品ファミリーの一貫として構築されています。センサーヘッドには、レーザービームを大きな測定長に最適化するための光学部品が追加されています。大型の三次元測定機や工作機械、長い直線軸や校正距離など、この高精度リニアエンコーダーの主な用途は多岐にわたります。 ...

... 超安定小型差動レーザー干渉計 高精度な長さ・角度の微分計測 差動測定による環境影響の最小化 熱的に超安定なセンサー設計、温度感度 < 10 nm/K 球面反射鏡、平面反射鏡など、さまざまな光反射鏡が使用可能 測定用反射鏡の大きな傾き不変性 コンパクトで堅牢な設計 ステンレス製センサーヘッドを標準装備 ビーム距離：14 mm OEMバージョン、OEMソフトウェア、真空バージョンも可能 オプションのインターフェースにより、フィードバックシステムとして使用可能 豊富なトリガーオプション 超安定でコンパクトなSP ...