測長用干渉計

... 平行平板測定をよりシンプルに。表面が複数ある測定は、複雑な干渉縞が生じます。Verifire™ MSTは、特許取得済みの波長シフト技術を使用して、複数の表面から位相データを同時に取得します。 平行板ガラスの各表面、透過波面からの主な指標の他、全体の厚みのムラ (TTV)、ウェッジ、材料の不均一性などの正確な表面間情報を測定します。 Verifire™ MSTは、モバイルデバイスのディスプレイガラス、データストレージディスク、半導体ウェーハなどの要求の厳しいアプリケーションに対応し、0.5mmの薄いテスト部品の表面と厚みムラを正確に測定します。 ...

... 長さ、ピッチ、ヨー角を同時に高精度に測定するトリプルビームレーザー干渉測定システム - 最高精度のフレキシブルな測長システム - 統合されたビーム方向検出により、取り扱いと調整が容易 - 球面反射鏡、平面反射鏡など、さまざまな光学反射鏡を使用可能 - 最大±12.5°までの測定リフレクターの傾斜が可能 - コンパクト設計 - センサーヘッドはアルミニウム、ステンレス、インバー製から選択可能 - ビーム距離：12 mm - OEMバージョン、OEMソフトウェア、真空バージョンが可能 - オプションの調整可能な偏向ミラーによるビーム偏向 - ...

... ガイド、測定ステージ、顕微鏡ステージ、位置決めステージ、座標測定機、工作機械における長さ測定や校正、さらには多座標測定においては、高精度かつ信頼性の高い測定結果が不可欠です。 当社の汎用レーザー干渉計「SP 5000 NG」は、高精度な長さ測定を実現するソリューションであり、新たな測定プロジェクトに合わせて、同製品ファミリーの追加コンポーネントをいつでも組み合わせて拡張することが可能です。 コンパクトなSP 5000 NG干渉計は、取り扱いが容易であるだけでなく、迅速かつ簡単な調整が可能であることが特徴です。さまざまな環境や動作条件下でも、極めて高精度な測定結果を提供します。内蔵センサーを利用した干渉計の調整は、簡単、迅速、かつ非常に高精度に行えます。その結果、センサーの位置合わせの不備による誤差を回避することができます。 ...

... 当社の超高安定性差動レーザー干渉計「SP 5000 DI」は、独自の熱安定性を特徴としており、そのため、材料特性の分析など、研究開発における長期測定に最適です。 標準的な干渉計とは対照的に、差動型では基準光がセンサーヘッドから導出され、測定光と平行に走ります。この構造により、測定の分解能や安定性に大きな影響を与えることなく、センサーを実際の測定位置からより離れた場所に設置することが可能になります。 この干渉計の長さ分解能はサブナノメートル級であり、差動原理により、通常の実験室条件下でも、同等の測定長またはビーム長でこの分解能を実現できます。 測定に傾斜不変反射板を使用すれば、長さ測定の測定範囲は数メートルに達します。この干渉計測定システムはモジュール式設計を採用しており、それぞれの測定課題に合わせて適応させることができます。 調整は簡単で、とりわけ長期的な安定性を確保して実施可能です。 ...

... 長距離レーザー干渉計「SP 15000 NG」は、長距離での長さ測定のために特別に設計されたものであり、「SP 5000 NG」製品ファミリーの技術をさらに発展させたものです。センサーヘッドには、長距離測定に最適化されたレーザービームを実現するための追加光学系が搭載されています。 大型の座標測定機や工作機械、長い直線軸、および校正距離が、この高精度リニアエンコーダの主な用途となります。測定プロセスにおいて、測定結果の正確性には、室内の温度分布や測定場所の温度分布が決定的な役割を果たします。 このため、高精度な用途においては、この干渉計を当社のLCS精密気候測定ステーションと組み合わせて使用することを推奨します。 調整と取り扱いが容易 最大80 ...

... 超高安定性かつコンパクトなSP 5000 DI/F差動干渉計は、長期間にわたり極めて安定した長さ測定が求められる用途向けに設計されています。コンパクトなセンサー設計により、狭いスペースでも長期にわたり安定した調整と設置が可能であり、この高精度測定システムは閉ループ制御用のレーザースケールとして最適です。 この用途では、測定値の安定性を最適化するために、通常は測定範囲の中央に外部基準点を設置する必要があります。この干渉計の基本原理はSP 5000 DIシリーズに基づいており、サブナノメートル範囲の長さ分解能を実現します。 ...

... SP 5000 DS ダブルビームレーザー干渉計は、長さ情報に加えて運動角度の同時取得を必要とする測定作業に使用されます。この干渉計の測定原理は、SP 5000 NG 測定装置に基づいています。 2本の測定レーザービームは、同じ周波数を持つ共通のレーザーの光を利用しています。 2つの測定レーザービーム間のビーム間隔は、高精度に校正されています。測定ビーム同士の平行度は極めて重要です。両ビームが共通の反射鏡を使用する場合、その差分を求めることで、動作中の角度を高分解能で測定・算出することができます。 2つのビームを互いに独立して動作させることで、差分測定を行うことができます。 ...

... 位置決め軸の長さ、ピッチ角、ヨー角、真直度を高精度に同時測定・校正するレーザー干渉計 - 最高精度のフレキシブルな長さ測定システム - 長距離での高精度長さ測定 - 長さ、ピッチ角、ヨー角、真直度の6自由度測定が可能。 - 統合されたビーム方向検出により、取り扱いと調整が容易 - 測定リフレクターの大きな傾斜不変性 - ビーム距離50 mm - 光学系の旋回により、水平および垂直方向の真直度成分を測定可能 - 豊富なトリガーオプション - WindowsおよびLinuxのOEMソフトウェア用のオープンインターフェース - ...

... 製品説明
SP 5000 DI/DSは、差動干渉計の原理と多線干渉計を組み合わせ、長さと角度（チルト）の同時かつ高い安定性を持つ測定を実現します。この構成により、広い領域での極微小な変位やわずかな傾きを検出し、熱的・環境的影響の感度を低減します。

主な特長

• 四光束レーザー干渉方式の変位・角度差分測定システム
• 差動による安定した長さおよびピッチ（角度）測定
• XYステージや平面鏡への組み込みを想定した設計
• ビーム間隔：15

... HPI-3Dリニアレーザー計測システムは、迅速で簡単なインストールとダイナミックな3DOF計測を一度に行うことができるレーザー干渉計です。HPI-3Dは、非常に高速で測定を行い、高い精度で結果を返します。この装置は、高精度レーザー干渉計分野における20年以上の経験の賜物です。この干渉計は、レーザー測定の分野における「ノウハウ」と最高のパラメーターを象徴しています。また、最高の品質、豊富なアクセサリーとオプション、使いやすさとコンパクトさも兼ね備えています。 もう測定に限界はありません！リニア計測システムHPI-3Dは、最新のレーザーシステムのパラメータを最適化します。非常に高速な移動速度、超高分解能、高サンプルレートにより、非常に要求の厳しいアプリケーションにも適しています。 万能な測定器は存在しませんが、HPI-3Dはそれに近づきます。HPI-3Dは、長い距離（数十m）、非常に短い距離（数百ピコm）、機械の形状を計測し、非常に速い動きや非常に遅い動きを検出することができます。振動の監視、角度の測定、距離の比較など、様々なことが可能です。このレーザー装置は、科学研究所、機械産業の作業場、屋外などで使用できる。コンピューター、タブレット、スマートフォンで制御できるだけでなく、ユーザーは様々な方法で機能を変更することができる。 ...