差動干渉計

... ZMI測定電子エレクトロニクス（基板） ZMI™ 測定用電子エレクトロニクスは、ZMI™ レーザー光源による干渉計からの光信号の変位を計算します。 ZMI™2400、4000、および4100シリーズは、より高精度が必要となる位置計測アプリケーション向けのサブナノメートル分解能を提供します。これらの測定基板をVMEシャーシにモジュール式に追加することで、最大64軸の測定に拡張可能です。 更に高い精度での測定を実現するため、当社特許取得の周期的誤差（サイクリックエラー）補正オプションが、DMIシステムの非線形誤差を自動的かつシームレスに除去します。 ZMI™ ...

... 長さ、ピッチ、ヨー角を同時に高精度に測定するトリプルビームレーザー干渉測定システム - 最高精度のフレキシブルな測長システム - 統合されたビーム方向検出により、取り扱いと調整が容易 - 球面反射鏡、平面反射鏡など、さまざまな光学反射鏡を使用可能 - 最大±12.5°までの測定リフレクターの傾斜が可能 - コンパクト設計 - センサーヘッドはアルミニウム、ステンレス、インバー製から選択可能 - ビーム距離：12 mm - OEMバージョン、OEMソフトウェア、真空バージョンが可能 - オプションの調整可能な偏向ミラーによるビーム偏向 - ...

... 2本の平行な測定ビームによる高安定な差動レーザー干渉計 - 最高精度の長さまたは角度の差分測定 - ディファレンシャル測定による環境影響の最小化 - 熱的に長期間安定したセンサー、温度感度 < 20 nm/K - 球面反射鏡、平面ミラー反射鏡など、様々な光学反射鏡を使用可能 - 測定リフレクターの大きな傾斜不変性 - ステンレス製センサーヘッドを標準装備 - ビーム距離：21 mm - 豊富なトリガーオプション - WindowsおよびLinuxのOEMソフトウェア用のオープンインターフェース 当社の超安定差動レーザー干渉計 ...

... 超安定小型差動レーザー干渉計 - 最高精度の長さまたは角度の差分測定 - 差動測定による環境影響の最小化 - 熱的に超安定なセンサー設計、温度感度 < 10 nm/K - 球面反射鏡、平面ミラー反射鏡など、様々な光学反射鏡を使用可能 - 測定用反射鏡の大きな傾斜不変性 - コンパクトで堅牢な設計 - ステンレス製センサーヘッドを標準装備 - ビーム距離：14 mm - OEMバージョン、OEMソフトウェア、真空バージョンが可能 - オプションのインターフェースでフィードバックシステムとして使用可能 - ...

... 長さと角度を同時に高精度に測定するダブルビームレーザー干渉計 - 最高精度のフレキシブルな測長システム - 最高精度の角度検出 - 調整と取り扱いが容易 - 球面反射鏡、平面反射鏡など様々な光学反射鏡が使用可能 - 最大±12.5°までの測定用反射鏡の傾斜が可能 - コンパクト設計 - センサーヘッドはアルミニウム、ステンレス、インバーから選択可能 - ビーム距離：標準12mm、その他ご要望に応じます。 - OEMバージョン、OEMソフトウェア、真空バージョンが可能 - 豊富なトリガーオプション SP ...

... RLD10 ディテクターヘッドは、干渉計光学部品、レニショー独自のマルチチャンネル干渉縞検出機構、レーザーシャッター、ビームステアラを内蔵しています。RLD10 ディテクターヘッドには、出力方向が 0°と 90°のものがあります。 特長とメリット 2 軸ソリューション - 2 軸の平面鏡システムは、XY ステージアプリケーションにとって理想的なソリューションです。 高分解能 - 平面鏡システムは、反射鏡システムに比べて高い分解能が必要になるアプリケーションにも活用できます。 ...