差動干渉計

... 長さ、ピッチ、ヨー角を同時に高精度に測定するトリプルビームレーザー干渉測定システム - 最高精度のフレキシブルな測長システム - 統合されたビーム方向検出により、取り扱いと調整が容易 - 球面反射鏡、平面反射鏡など、さまざまな光学反射鏡を使用可能 - 最大±12.5°までの測定リフレクターの傾斜が可能 - コンパクト設計 - センサーヘッドはアルミニウム、ステンレス、インバー製から選択可能 - ビーム距離：12 mm - OEMバージョン、OEMソフトウェア、真空バージョンが可能 - オプションの調整可能な偏向ミラーによるビーム偏向 - ...

... 当社の超高安定性差動レーザー干渉計「SP 5000 DI」は、独自の熱安定性を特徴としており、そのため、材料特性の分析など、研究開発における長期測定に最適です。 標準的な干渉計とは対照的に、差動型では基準光がセンサーヘッドから導出され、測定光と平行に走ります。この構造により、測定の分解能や安定性に大きな影響を与えることなく、センサーを実際の測定位置からより離れた場所に設置することが可能になります。 この干渉計の長さ分解能はサブナノメートル級であり、差動原理により、通常の実験室条件下でも、同等の測定長またはビーム長でこの分解能を実現できます。 測定に傾斜不変反射板を使用すれば、長さ測定の測定範囲は数メートルに達します。この干渉計測定システムはモジュール式設計を採用しており、それぞれの測定課題に合わせて適応させることができます。 調整は簡単で、とりわけ長期的な安定性を確保して実施可能です。 ...

... 超高安定性かつコンパクトなSP 5000 DI/F差動干渉計は、長期間にわたり極めて安定した長さ測定が求められる用途向けに設計されています。コンパクトなセンサー設計により、狭いスペースでも長期にわたり安定した調整と設置が可能であり、この高精度測定システムは閉ループ制御用のレーザースケールとして最適です。 この用途では、測定値の安定性を最適化するために、通常は測定範囲の中央に外部基準点を設置する必要があります。この干渉計の基本原理はSP 5000 DIシリーズに基づいており、サブナノメートル範囲の長さ分解能を実現します。 ...

... SP 5000 DS ダブルビームレーザー干渉計は、長さ情報に加えて運動角度の同時取得を必要とする測定作業に使用されます。この干渉計の測定原理は、SP 5000 NG 測定装置に基づいています。 2本の測定レーザービームは、同じ周波数を持つ共通のレーザーの光を利用しています。 2つの測定レーザービーム間のビーム間隔は、高精度に校正されています。測定ビーム同士の平行度は極めて重要です。両ビームが共通の反射鏡を使用する場合、その差分を求めることで、動作中の角度を高分解能で測定・算出することができます。 2つのビームを互いに独立して動作させることで、差分測定を行うことができます。 ...

... 製品説明
SP 5000 DI/DSは、差動干渉計の原理と多線干渉計を組み合わせ、長さと角度（チルト）の同時かつ高い安定性を持つ測定を実現します。この構成により、広い領域での極微小な変位やわずかな傾きを検出し、熱的・環境的影響の感度を低減します。

主な特長

• 四光束レーザー干渉方式の変位・角度差分測定システム
• 差動による安定した長さおよびピッチ（角度）測定
• XYステージや平面鏡への組み込みを想定した設計
• ビーム間隔：15

... ZMI測定電子エレクトロニクス（基板） ZMI™ 測定用電子エレクトロニクスは、ZMI™ レーザー光源による干渉計からの光信号の変位を計算します。 ZMI™2400、4000、および4100シリーズは、より高精度が必要となる位置計測アプリケーション向けのサブナノメートル分解能を提供します。これらの測定基板をVMEシャーシにモジュール式に追加することで、最大64軸の測定に拡張可能です。 更に高い精度での測定を実現するため、当社特許取得の周期的誤差（サイクリックエラー）補正オプションが、DMIシステムの非線形誤差を自動的かつシームレスに除去します。 ZMI™ ...

... RLD10 ディテクターヘッドは、干渉計光学部品、レニショー独自のマルチチャンネル干渉縞検出機構、レーザーシャッター、ビームステアラを内蔵しています。RLD10 ディテクターヘッドには、出力方向が 0°と 90°のものがあります。 特長とメリット 2 軸ソリューション - 2 軸の平面鏡システムは、XY ステージアプリケーションにとって理想的なソリューションです。 高分解能 - 平面鏡システムは、反射鏡システムに比べて高い分解能が必要になるアプリケーションにも活用できます。 ...