差動干渉計 RLD10

レーザー光学式

RLD10 ディテクターヘッドは、干渉計光学部品、レニショー独自のマルチチャンネル干渉縞検出機構、レーザーシャッター、ビームステアラを内蔵しています。RLD10 ディテクターヘッドには、出力方向が 0°と 90°のものがあります。 特長とメリット 2 軸ソリューション - 2 軸の平面鏡システムは、XY ステージアプリケーションにとって理想的なソリューションです。 高分解能 - 平面鏡システムは、反射鏡システムに比べて高い分解能が必要になるアプリケーションにも活用できます。 注意を要する環境 - 平面鏡干渉計のディテクターヘッドには、低消費電力オプションもご利用いただけます。これは、標準の RLD10 仕様に指定された 2W よりも低い消費電力を必要とするアプリケーションに最適です。