レーザー干渉計 Verifire™

平坦度測定用光学式フィゾー

Verifire™ 干渉計システムは、光学部品、システム、およびアセンブリの表面形状誤差と透過波面の高速で信頼性の高い測定を提供します。 真のレーザーフィゾー設計であるVerifire™システムは、表面形状測定におけるZYGOの比類なき経験を継承しています。ZYGOが製造したHeNeレーザー光源と、ZYGOの特許取得済みのアルゴリズム、フル機能のMx™測定ソフトウェアを組み合わせることで、使いやすい解析機能を備えた高精度の測定装置を実現します。 製造現場での信頼性の高い測定 この数年間で、光学測定技術は飛躍的に進歩しました。 これまで、信頼性の高い測定を行うためには、環境による影響を慎重に管理することが必要でした。 ZYGOは現在、振動や乱気流のため従来の光学的測定が困難または不可能になり得る過酷な環境で、信頼性の高い測定を実現するためのテクノロジーを提供しています。