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... にわたり、位相シフト 干渉計は高精度の表面形状測定器として選ばれてきた技術です。 これらの 干渉計は、光学部品、システム、アセンブリの表面形状誤差と透過波面を高速かつ高信頼性で測定します。 研究環境から広範な産業用途まで、レーザー 干渉計は品質保証や生産後の解析のための高レベルのデータトレーサビリティを提供します。レーザー 干渉計は、製造工程に不可欠なものとなっています。 ZygoのQualifireは、この種の装置における既知の課題に対するソリューションを提供することで、レーザー 干渉計の飛躍的な進歩を ...
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... Verifire™ 干渉計システムは、光学部品、システム、およびアセンブリの表面形状誤差と透過波面の高速で信頼性の高い測定を提供します。 真のレーザーフィゾー設計であるVerifire™システムは、表面形状測定におけるZYGOの比類なき経験を継承しています。ZYGOが製造したHeNeレーザー光源と、ZYGOの特許取得済みのアルゴリズム、フル機能のMx™測定ソフトウェアを組み合わせることで、使いやすい解析機能を備えた高精度の測定装置を実現します。 製造現場での信頼性の高い測定 この数年間 ...
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... 振動が生じやすい環境で信頼性の高い測定を行うために設計された 干渉計。高性能望遠鏡のテストから光学系のアクティブアライメントのためのライブ位相フィードバックまで、幅広いアプリケーションのニーズに対応できる汎用性と柔軟性を備えています。 DynaFiz®の光効率の良い光学設計とZYGOの高出力HeNeレーザー光源を組み合わせることで、振動を「フリーズ」させる高いカメラシャッター速度での動作が可能になります。この動的能力は、従来の位相シフト測定には過酷すぎる環境での信頼性の高い測定を可能にします。 ...
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... 干渉計の分解能を最大限に高めた Verifire HDとVerifire HDX 干渉計システムは、光学表面の比類なき優れた中空間周波数特性評価を提供します。 単にシステムのピクセル数を増やすだけでは十分ではありません。ピクセル数が限られた 干渉計のパフォーマンスを保証し、最も要求の厳しいアプリケーションに必要な表面のディテールを捉えるには、厳密な光学設計が求められます。 ZYGO独自のITF (Instrument ...
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... 、最終アライメント、および精度保証のために非常に重要です。 航空宇宙・防衛用の暗視、IR、熱画像システム、リソグラフィサブシステム、リモートセンシング望遠鏡、そして特殊な材料の認定には、幅広いさまざまな波長要件が伴いますが、すべて1台の赤外波長 干渉計システムを使用して設計波長でテストできることは大きな利点です。 ...
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... 平行平板測定をよりシンプルに。表面が複数ある測定は、複雑な 干渉縞が生じます。Verifire™ MSTは、特許取得済みの波長シフト技術を使用して、複数の表面から位相データを同時に取得します。 平行板ガラスの各表面、透過波面からの主な指標の他、全体の厚みのムラ (TTV)、ウェッジ、材料の不均一性などの正確な表面間情報を測定します。 Verifire™ MSTは、モバイルデバイスのディスプレイガラス、データストレージディスク、半導体ウェーハなどの要求の厳しいアプリケーションに対応し、0.5mm ...
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... をもたらします。 これらのアプリケーションをサポートする非球面の製造は、精密な計測に依存しています。 結局のところ、非球面光学部品に関して言えば、測定できないものは作れないのです。 Verifire Asphere+ (VFA+) は、フィゾー 干渉計の利点を活かし、軸対称非球面に対して、高精度、高解像度、高速、フルアパーチャーのユニークな組み合わせの計測を提供します。 VFA+は、透過球を交換するだけで、様々な軸対称非球面を測定できる柔軟な測定プラットフォームを提供します。また、オプションの ...
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... 大口径で設置面積の小さいVerifire XLは、直径300mmまでの平面光学部品を簡単にテストできる、 干渉計ワークステーションです。 この完全統合型のシステムは、カスタム治具が不要で、繰り返し測定可能な部品配置を提供する使いやすい頑丈なチップ/チルトステージを備えています。 コンパクトな設置面積に除振装置とコントローラモニタースタンドを組み込むことで、必要なスペースを最低限に抑えます。 ...
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... ZYGOの水平軸ビームエキスパンダーは、4インチの 干渉計の通常の開口部寸法を12インチ、18インチ、24インチ、さらには32インチまで拡大し、大型光学部品と光学系の検証における高精度の 干渉計測を実現します。 水平大型開口装置は、2つの独立した計測チャンネルを確保する独自の機能を提供します。1つはネイティブの4インチ 干渉計開口、もう1つは最大32インチの拡張ビームで、1つの装置に2つの 干渉計の柔軟性を与えます。 ...
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... 効率的な光学部品測定のための 干渉計ワークステーション Verifire™ MSTレーザー 干渉計ワークステーションZYGOのVerifire VTSは、用途に合わせて設計された球面測定用 干渉計ワークステーションです。 垂直上向きのワークステーションはテスト部品を所定の位置に保持することで、高速ピックアンドプレース測定を可能にします。 内蔵型のパッシブ除振システムと石定盤のベースが、生産環境でも最高のパフォーマンスを実現できる測定用プラットフォームを提供します。 ...
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