電動リニア軸は、前のXYステージをサポートするように適応可能です。
Z 軸電動ステージのFBレンジは、フレキシブルな電動単軸になるように設計されており、FB203との基本的な統合が可能です。また、オフセットベース(透過光のFB206)を備えたFB204またはFB205を備えたXYステージ用の簡単な取り付けスタンドを提供します。 FBレンジは、ほとんどのPriorコントローラから制御でき、Priorの標準 H122フォーカスモータと同じソフトウェアコマンドに応答できます。
FB204、FB205、およびFB206は、光学テーブルにボルトで固定するように設計されたスタンドを備え、オプションの0.1umリニアエンコーダを供給することができます。 すべてのFBシリーズは1mmボールネジとステッピングモータ駆動システムを使用しています。
---