縦型プローブカード

急流用

アドバンスト型プローブカードは、半導体のウエハテストに欠かせない検査治具です。ICチップが基板に実装される前の段階で、回路の動作確認や品質チェックを行います。プローブカードの役割は、ウエハ上の各ICチップのピンに微小な電気信号を送受信し、テストデータを収集することです。これにより、各チップが正常に動作しているかを迅速かつ正確に判定できます。製造プロセスの初期で不良を見極める重要な役割を果たします。 アドバンスト型（垂直型）プローブカードは、従来のカンチレバー型では難しかった多数個同時測定やウエハ一括測定を可能にし、テスト効率を飛躍的に向上させます。さらに、高精度なコンタクト技術により、高周波測定や大電流測定にも対応可能です。 このプローブカードは、ハイスループットを実現し、測定効率を飛躍的に向上させるだけでなく、メンテナンスのしやすさにも優れています。お客様のニーズに合わせた最適なソリューションを提供し、スムーズで効率的なウエハテストを実現します。 用途例 - ウエハテスト - IC設計 - デバッグ など 構成 アドバンスト型プローブカードは、「プローブヘッド（ハウジング）」と「プローブカード基板」で構成される検査治具です。精研では、プローブヘッドを自社製作し、高精度なコンタクトプローブと加工技術を活かして、お客様のニーズに柔軟に対応可能です。 - プローブヘッド（ハウジング）の特長 - エンジニアリングプラスチックまたはセラミックスを使用し、用途に合わせた形状で切削加工。 - 選定可能な材料例 - 樹脂材料：スミカスーパー、トップファインなど - セラミックス：ホトベールⅡなど - コンタクトプローブを確実に固定し、最適なテスト環境を提供。 - プローブカード基板の種類 - 専用基板（量産・電気特性重視）：各ユーザーの用途に合わせて設計・製作。カスタマイズ性が高く、最適なテスト環境を実現。 - 汎用基板：一般的なテスターメーカーの規格に準拠し、柔軟なテスト環境を構築可能。ピンブロックからジャンパー配線を通じて接続し、さまざまなテストに対応。 - プローブヘッドと基板の接続方法 - 専用基板（配線レス・高精度）：プローブヘッドと基板が直接ドッキングし、配線不要。量産時のランニングコスト削減。特定のデバイスレイアウトに依存し、汎用性はない。 - 汎用基板（柔軟対応・高互換性）：基板中央に開口部を設け、プローブヘッドを固定。デバイスのレイアウト変更に対応可能。配線抵抗が高く、高周波・微小電流テストには不向き。 特長と強み - 精密な位置決めと個片測定が可能：ダイシングされたチップをマニュアルで測定可能。ガイド枠や蓋の追加オプションあり。個片測定・検査にも対応。 - プローブ交換で治具全体のメンテナンスが簡単：プローブ部分の交換のみで治具全体のメンテナンスが可能。ランニングコスト削減。 - お客様の検査条件に最適なソリューションを提供：1台からの試作・開発にも対応。 特徴・仕様（Characteristics / Specifications） - 用途：半導体ウエハテスト、IC設計、デバッグ - 構成：プローブヘッド（ハウジング）、プローブカード基板（専用基板・汎用基板） - 材料：エンジニアリングプラスチック（スミカスーパー、トップファイン等）、セラミックス（ホトベールⅡ等） - 接続方法：配線レスドッキングまたはジャンパー配線 - 特長：高精度コンタクト、高周波・大電流対応、メンテナンス容易、カスタマイズ対応