Kelvinプローブカード

ケルビンプローブカードは、四端子測定法（ケルビン接続測定）を採用し、対象デバイスの真の抵抗値を高精度に測定します。四端子測定法を用いることで、電流（Force回路）と電圧（Sense回路）を独立して測定し、接触部の抵抗の影響を排除できます。これにより、対象デバイスの本来の抵抗（Rs）を正確に測定することが可能です。ケルビン測定では、1つの電極（はんだバンプ、パッドなど）に対して2端子を接触させる必要があります。 ケルビン測定は、電極ピッチP=0.35mm～に対応可能です。2端子間のギャップは0.1mmまで詰めることができるため、極小電極にもコンタクトできます。このケルビン測定用プローブは、特許（5597108号）を取得しています。 ケルビンプローブを使用する際に必要な特殊ボード加工についても、お客様の測定機器に合わせた専用治具の設計・製作をワンストップで行っています。最適なプローブと治具の組み合わせをご提案し、精密かつ効率的な測定をサポートいたします。 - 極小電極にも確実コンタクト：電極サイズの縮小に対応し、φ180μmの極小バンプにも確実にコンタクトできる設計を実現。 - 自由自在なピン配置、柔軟設計で多チップ測定も対応：ピッチ条件を満たせばピン配置に制限はなく、1チップあたり100～1000個の電極や、複数チップの同時測定にも柔軟に対応。 - 簡単ピン交換＆高メンテナンス性：ピン交換も従来通りアドバンスト型プローブカード同様に簡単に行え、メンテナンス性も優れています。 用途例 - 半導体前工程 関連製品 - ケルビン測定用技術：1つの電極に2本の接点を確保し、高精度な抵抗測定を実現するコンタクトプローブ。最小0.1mmのギャップで極小電極への測定が可能。 - ケルビンICソケット：四端子測定（ケルビン接続）対応で、低抵抗測定の高精度化を実現。1mm以下の超小型チップにも対応可能。 - ピンブロック（治具製作）：電子機器の検査・試験に不可欠なピンブロックは、プローブを正確に固定し、確実な接触を実現。規格品から特注品まで対応。 主な特徴・仕様 - 測定方式：四端子法（ケルビン接続測定） - 対応電極ピッチ：0.35mm～ - 2端子間ギャップ：最小0.1mm - 極小バンプ対応：φ180μm - 特許取得済み：特許番号5597108号 - ピン配置：自由設計、1チップあたり100～1000電極、複数チップ同時測定対応 - メンテナンス性：高、ピン交換容易