熱蒸発による貯蔵マシン

真空

・コンパクトな設置面積と短い処理時間を特徴とする単室設計。 ・マルチグループ蒸発源を搭載しており、共蒸発プロセスに対応しています。 ・さまざまな材料の蒸発に対応しており、幅広いプロセス検証ウィンドウを備えています。