真空貯蔵マシン

・柔軟性を高めたモジュール式設計。 ・必要に応じて生産ラインの能力や構成を迅速に調整可能。直線レイアウトを採用し、下段トレイの自動返却システムを備えることで、プロセスの完全自動化を実現。 ・完全に独立した知的財産権を有する直線型蒸発源設計を採用し、蒸発源のマルチゾーン温度制御により、均一な熱場分布を確保。 ・温度と速度をオンラインでリアルタイムに監視する、高精度な制御システム。