熱蒸発による貯蔵マシン

薄膜真空

・ペロブスカイトプロセス向けにカスタマイズされた設計で、必要に応じて共蒸着または順次蒸着の実験が可能です。 ・高い成膜速度制御精度（0.1 Å/s）を実現し、正確かつ安定した実験条件を確保。 ・プロセスチャンバーの開閉、蒸着源のメンテナンス、材料の装填が簡単かつ便利で、コンパクトな構造。