ロールツーロールタイプ塗工機

スパッタリング式薄膜フィルム製造用

・蒸着・スパッタリング複合チャンバー； ・蒸着チャンバー：低温蒸着材料（Al、Liなど）の成膜用片面蒸着； ・スパッタリングチャンバー：回転ターゲット6組、平面ターゲットへの交換が可能； ・後処理チャンバー：加熱、冷却、ガス処理、プラズマ処理などに利用可能。