グリッド

概要
角Rのない四角形の微小貫通穴（R=0）を実現し、従来困難であった狭ピッチ・小径パターンの加工を可能にします。

特長

• 高密度の微小貫通穴
  • 例：3インチウェーハ上に0.1×0.1 mmの穴を最大150,000個加工可能
• 高アスペクト比の貫通穴（最大1:10）
  • 一般に1:8〜1:10の範囲で対応、断面はストレートまたはテーパーを選択可能
• チッピング最小化
  • Siとの陽極接合時の接触性を向上させる

オプション

• 側壁のメタライズ
  • 穴間の光干渉や吸収を抑制
• キャビティ形状の選択可能

標準仕様
材質：Borofloat 33（BF33）等
ガラスサイズ：≦φ150 mm
最小厚み：0.25 mm
厚み公差：±0.01 mm
最小穴サイズ：□0.07 mm
穴サイズ公差：±0.02 mm
最大アスペクト比：1 : 10
パーティクルコントロール：対応可能
貫通穴断面：ストレート / テーパー

特長／仕様（技術仕様）

• 材質：Borofloat 33（BF33）等
• ガラスサイズ：≦φ150 mm
• 最小厚み：0.25 mm、許容差 ±0.01 mm
• 最小穴サイズ：四角 0.07 mm、許容差 ±0.02 mm
• 最大アスペクト比：最大 1 : 10（通常 1:8〜1:10）
• 断面形状：ストレートまたはテーパー
• 高密度微小穴：例）3インチで0.1×0.1 mmを約150,000穴加工可能
• 側壁メタライズにより光干渉／吸収を制御可能
• パーティクルコントロールおよびクリーンルーム対応可能
• チッピング最小化により陽極接合性能を向上