シート状グラス

概要
ガラスウェーハ内部に高精度の内腔を形成し、薄く透明な内腔底面によりレーザーやLED光の透過や浸液式顕微鏡での観察を可能にします。内腔は光学用途や実装要件に応じて多様な形状・断面で製作可能です。

特長
内腔底面の透明仕上げ
薄く透明な内腔底面により、レーザー／LED光の歪みない透過や高解像度の光学観察に対応します。

金属化および形状オプション
上面・底面・側壁への金属化が可能で、電極や配線、シールド構造の形成に対応します。断面形状はストレート、テーパー、ステップを用意。多様な内腔形状に対応します。

用途
プロジェクター

• プロジェクタおよびピコプロジェクタ向けの表示部品。

半導体

• RF‑MEMSスイッチ、イメージセンサの封止／カバー。

AV／モバイル

• スマートフォン、携帯型ゲーム機、デジタルカメラ、カーナビ向けのRFスイッチ／リレー、圧力センサ、ジャイロ、加速度センサ、イメージセンサ。
• モバイル機器向け表示部品。

車載

• 各種圧力センサ、加速度センサ、ジャイロ、LEDカバー等の車載用センサハウジング。

標準仕様

• 材質：ガラス
• ガラス寸法：≦φ200mm
• 最小厚さ：0.15mm
• 厚さ公差：±0.01mm
• 最小内腔サイズ：φ0.1mm／□0.07mm
• 内腔形状：制限なし
• 内腔サイズ公差：±0.02mm
• チッピング：≦10μm
• 内腔断面形状：ストレート／テーパー／ステップ
• 金属化加工：上面、底面、側壁への加工が可能

技術的特徴

• ガラスウェーハ内部に高精度の内腔を形成し、光学透過用途に適した薄く透明な内腔底面を実現。
• 内腔底面の透明化によりレーザー／LEDの透過や顕微鏡観察に対応。
• 上面・底面・側壁の金属化により電極・配線・シールド構造の形成が可能。
• 柔軟な内腔形状と厳しい寸法公差により半導体・光学用途に適合。