乾燥炉 VTF

チャンバークリーンルーム用

クリーンルーム用加熱・乾燥オーブン Type VTF クリーンルーム用VTF加熱・乾燥オーブンは、最適で反復可能な生産結果に求められる、特に均一な温度分配を備えた低擾乱フローという特徴を持っています。新鮮循環空気チャネル内の高効率微粒子エアフィルター（HEPA）が、DIN EN ISO 14644-1に従うISO 5のクリーンルームクラス要件に適合する処理スペースを実現しています。 • プログラムサイクル全般を通して、高純度のDIN EN ISO 14644-1に従うISO 5のクリーンルームクラス要件に対応、最適な生産結果を実現 • 最高350°Cの高恒久プロセス温度 • 均一な空間温度分配 • 短時間での回復によりプロセスサイクルが短縮 • 自動化生産ラインへの組み込み、開口モデル、防爆装置との組み合わせ